Warum goldbeschichtete Reflektoren für Ihre IR-Anlage wirklich wichtig sind
Beim Bearbeiten von Halbleiterwafeln kommt es letztendlich auf eines an: So viel Wärme wie möglich auf die Oberfläche des Wafers zu bringen – ohne dabei Energie zu verschwenden.
Die meisten Menschen beginnen mit herkömmlichen Aluminiumreflektoren. Die sind zwar in Ordnung, doch sie neigen dazu, zu viel Infrarotenergie aufzunehmen. Das ist, als würde man versuchen, einen Ball von einem Schwamm abprallen zu lassen. Hier kommt das Gold ins Spiel.
Das Geheimnis liegt in der Reflexion.
Aluminium eignet sich hervorragend für sichtbares Licht, hat aber Schwierigkeiten mit langwelligen Infrarotstrahlen. Gold hingegen reflektiert diese Energie wieder zurück. Anstatt dass die Wärme in den Gehäusekörper der Maschine entweicht, wird sie durch die Goldbeschichtung wieder auf den Wafer zurückgeleitet.
Das Ergebnis? Das thermische Profil des Wafers wird viel gleichmäßiger – und die Fokussierung erfolgt präziser.
Die richtige Form wählen.
Wir legen das Gold nicht einfach nur auf ein Stück Metall. Zuerst wird die parabolische Kurve der Aluminiumbasis sorgfältig geformt. Erst wenn die Form perfekt ist, wird die präzise Goldschicht aufgetragen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wärmestromen genau dort ankommen, wo sie benötigt werden – wodurch der Einflussbereich klein, aber die Wirkung groß bleibt.
Aber hier gibt es ein Problem: Wenn man die Heizleistung erhöht, entsteht mehr Druck auf das Gehäuse der Lampe. Wenn man Lampen mit hoher Leistung zusammen mit diesen Goldreflektoren verwendet, muss man sicherstellen, dass das Kühlsystem mitkommt. Wenn das Gehäuse wegen der reflektierten Energie zu heiß wird, brennen die Lampen viel schneller aus, als eigentlich nötig wäre.
Was das für Ihre Anlage bedeutet.
Das Beste daran ist, dass es sich dabei um Ersatzteile handelt, die direkt eingebaut werden können. Man muss seine gesamte Anlage nicht neu aufbauen.
Sobald man auf diese Reflektoren umstellt, hat man zwei Möglichkeiten: Entweder reduziert man die Leistung, um Stromkosten zu sparen, oder man nutzt die höhere Effizienz, um die Aufheizzeit zu verkürzen. Dadurch entfällt das Raten bei der Einstellung der Parameter. Jeder Watt, den man bezahlt, wird tatsächlich für die Bearbeitung des Wafers genutzt.