Trong quy trình sản xuất, việc sấy khô lớp photoresist không phải là điều có thể bỏ qua được – đó là yêu cầu bắt buộc. Sự thay đổi nhiệt độ chỉ 2°C...

Trong quy trình LPCVD, lò nung không có cơ hội để sửa chữa những sai số về nhiệt độ xảy ra trong quá trình hoạt động. Chỉ cần một sai số nhỏ thôi...