Trong quy trình sản xuất, việc sấy khô lớp photoresist không phải là điều có thể bỏ qua được – đó là yêu cầu bắt buộc. Sự thay đổi nhiệt độ chỉ 2°C trong quá trình sấy cũng có thể gây ra những sai lệch về kích thước của các linh kiện, dẫn đến hiện tượng khuyết tật và khiến các tấm wafer bị loại bỏ. Đèn sưởi trong lò nung phải có khả năng tạo ra nhiệt độ ổn định, có thể lặp lại được từ lần này sang lần khác.
Những yếu tố quan trọng cần chú ý Chúng tôi thiết kế đèn sưởi dựa trên nguyên lý sóng hồng ngoại tần số cao, nhằm tạo ra hiệu ứng sưởi nhanh trên bề mặt tấm wafer. Độ đồng đều về nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt tấm wafer. Thân đèn được chế tạo sao cho phù hợp với môi trường phòng sạch, đạt tiêu chuẩn ISO Class 1–100. Chúng tôi sử dụng vật liệu ít giải phóng khí và thiết kế đèn để ngăn chặn sự xuất hiện của các hạt bụi. Việc loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi không chỉ là khẩu hiệu suông – chúng tôi kiểm tra điều này thông qua các phép đo trực tiếp trong quá trình kiểm tra chất lượng. Kết quả là quá trình sấy diễn ra ổn định, các thông số quy trình được kiểm soát chặt chẽ, và chất lượng lớp photoresist giữ được tính ổn định từ lô này sang lô khác.
Tại sao đèn này phù hợp với công nghệ in ấn và xử lý photoresist Quy trình in ấn và xử lý photoresist đòi hỏi mức độ kiểm soát nhiệt độ rất chặt chẽ. Bạn cần đèn có khả năng đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh chóng, duy trì nhiệt độ đó một cách ổn định, và làm mát tấm wafer một cách hiệu quả, để tránh gây ra các vấn đề trong các bước xử lý tiếp theo. Đèn SiC giúp rút ngắn thời gian sưởi, giảm sự chậm trễ về mặt nhiệt độ, đồng thời đảm bảo tính lặp lại của quá trình sấy. Trên thực tế, điều này giúp giảm số lần phải làm lại sản phẩm, tăng tỷ lệ sản phẩm thành phẩm ngay từ lần đầu, và giúp lên kế hoạch cho các chu kỳ sản xuất một cách chính xác hơn. Ngoài ra, việc sử dụng đèn SiC còn giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng, vì năng lượng được chuyển hóa thành nhiệt một cách hiệu quả, với ít lãng phí. Tuổi thọ dài của đèn cũng giúp tránh việc phải ngừng quy trình sản xuất để bảo trì.
Những chi tiết cần chú ý khi lắp đặt Việc lắp đặt đèn đòi hỏi phải đảm bảo rằng kích thước của cửa lò phù hợp với kích thước của đèn, đồng thời phải xác nhận các thông số điện tử như điện áp, loại đầu nối và hệ thống nối đất. Như vậy mới tránh được tình trạng tạo ra những điểm nóng không mong muốn. Đèn sẽ hoạt động tốt nhất khi kích thước của bộ phản xạ trong lò phù hợp với chế độ phát sáng của đèn. Nếu không, độ đồng đều về nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Hãy lên kế hoạch thực hiện một cuộc kiểm tra ngắn để xác định chính xác các thông số quy trình sấy. Một khi đã được thiết lập, đèn có thể hoạt động 24/7 với mức độ lệch nhỏ, nhưng bạn vẫn cần thực hiện các cuộc kiểm tra định kỳ để đảm bảo quy trình vẫn tuân thủ các tiêu chuẩn yêu cầu.