300 mm hatlarında, zaten termal bütçeyi zorlayarak çalışıyoruz. Yumuşak fırınlamada yarım derecelik bir sapma bile fotoresist profilini bozmaya...

300 mm’lik üretim hatlarında, foto dirençlerin yumuşak pişirilmesi sırasında meydana gelen sapmalar veya waferlerin kurutulması sırasında oluşan...