Vakum odanızda enerji israfını durdurun
Dürüst olalım: Vakum odasında enerji israfı, kötü bir tasarımın sonucudur. Silikon wafları ısıtırken, substratın dışına kaçan her bir watt enerji boşa gitmiş demektir. Bu enerji, odanın duvarlarını ısıtır ve soğutma sistemini gereksiz yere daha fazla çalıştırır. İşte bu yüzden altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz. Böylece enerji doğru yere yönlendirilmiş olur.
Neden altın?
Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanmayı tercih eder, ancak sorun şu ki bunlar çok fazla kızılötesi enerjinin geçmesine izin verir. Biz ise yüksek saflıkta altın tabakalar kullanıyoruz; çünkü bu tabakalar uzun dalga boylu ve orta dalga boylu kızılötesi ışınları çok daha iyi yönlendirebilir. Işığı sadece etrafta yansıtmak yerine, doğrudan waflanın üzerine gönderir. Yansıtıcı kendisi enerjiyi emmediği için neredeyse tüm enerji hedefe ulaşır.
Yüksek enerji yoğunluğu elde etmenin sırrı
Waflanın üzerine yüksek enerji yoğunluğu sağlamak için denge kurmak gerekir. Lambanın gücünü ve yansıtıcının şeklini doğru ayarlamak önemlidir. Eğer yüksek güçlü bir lambayı hassas olmayan bir altın yansıtıcı olmadan kullanırsanız, ısınma noktaları oluşur ve ısı dağılımı eşit olmaz. Bu durum berbat bir durumdur. Altın kaplı sistemler sayesinde ışınlar daha iyi yönlendirilir; böylece hedef sıcaklıklara daha hızlı ulaşılır ve filamanın zarar görmemesi için voltajı aşırı yükseltmeye gerek kalmaz.
Bir dezavantaj daha…
Altın bu iş için en iyi araç olsa da, tamamen dayanıklı değildir. Eğer işlem sürecinizde aşındırıcı gazlar kullanılıyorsa veya çok fazla gaz salınıyorsa, altın tabakası hasar görebilir. Oda temiz tutulmalıdır. Eğer yansıtıcı üzerinde bir film oluşursa, verimlilik düşer ve waflanın aynı sıcaklıkta kalması için daha fazla güç kullanmak zorunda kalırsınız.
Son bir ipucu: Bu cihazları stabil bir güç kaynağına bağlayın. Voltaj dalgalanmalarından kaçının. Düzgün bir akım, yayılım spektrumunu sabit tutar ve böylece tüm wafla üzerinde ısının eşit şekilde dağılmasını sağlar.