Houd je apparaten schoon (en behoud je hoge opbrengst)
Als je een Class 100-schoonruimte hebt, ken je vast al het probleem van het ontstaan van deeltjes. Eén klein stukje van een goedkope verwarmingsunit kan al genoeg zijn om je wafer te beschadigen. Het is frustrerend, kostbaar en heeft negatieve gevolgen voor de opbrengst.
Daarom hebben we besloten om geen gebruik meer te maken van standaardverwarmers, maar in plaats daarvan hoogzuiver geblazen kwarts te gebruiken voor onze IR-lampen.
Waarom kwarts?
Stel je dit voor: verwarmers met een metaalbekleding gaan uiteindelijk kapot of oxideren. Maar synthetisch geblazen kwarts is anders. Het reageert niet met de omgeving en er komen geen metalen ionen vrij in de droogkamer. Bovendien kan het hitte goed verdragen. Omdat het zich nauwelijks uitrekent of samenkrimpt bij schommelingen in de temperatuur, hoef je je geen zorgen te maken dat de buizen breken tijdens snelle temperatuurswisselingen. Ze blijven stabiel.
De hitte precies waar het nodig is
Deze lampen gebruiken kortgolfradiatie. Het goede nieuws is dat de energie rechtstreeks op het oppervlak terechtkomt. Je hoeft geen tijd te verspillen aan het opwarmen van de lucht in de ruimte. Het gaat snel – echt heel snel.
Een tip over de stroomsterkte: deze lampen kunnen veel wattage aan, maar je moet ervoor zorgen dat de stroomvoorziening geschikt is. Als je te veel wattage in een korte buis stoppt, kunnen de filamenten kapotgaan. Om veilig te zijn, laten we altijd ongeveer 10% extra ruimte over in de spanningregelaars. Dit voorkomt problemen door plotselinge stroompieken.
Een paar tips voor het installeren
We gebruiken standaardconnectoren, zodat het gemakkelijk is om ze te vervangen tijdens onderhoud. Je hoeft niet de hele machine op te knappen alleen maar om één lamp te vervangen.
Maar er is één nadeel: kwarts is broos. Zorg er dus voor dat de bevestigingen de buis niet te strak vasthouden. Als er te veel spanning is, zal de buis al bij de eerste keer dat hij wordt opgewarmd breken. Geloof me, je wilt die geluiden echt niet horen.
En nog één tip: wees voorzichtig met je handen. Hoogzuiver kwarts is wat duurder dan gewone glasproducten, en het is gevoelig. Zelfs één vingerafdruk op de buis kan tot hete plekken leiden, waardoor de buis te vroeg kapotgaat. Veeg ze eerst schoon met IPA voor je ze aansluit op de stroomvoorziening. Dan is alles in orde.