Smettete di sprecare energia inutilmente nei dispositivi per il trattamento dei wafer
Quando si riscalda un wafer di silicio, ogni watt sprecato rappresenta semplicemente denaro perso.
Il problema è che le lampade a infrarossi tradizionali emettono energia ovunque. Ma in un dispositivo per il trattamento dei wafer, ci interessa soltanto il calore che raggiunge il substrato. Tutto il resto è inutile. Per risolvere questo problema, utilizziamo la tecnologia di rivestimento in oro: invece di far perdere quell’energia all’interno del dispositivo, la indirizziamo direttamente sul wafer.
Perché l’oro?
Perché l’oro è estremamente efficace per riflettere i raggi infrarossi. La maggior parte delle persone utilizza riflettori in alluminio, ma questi assorbono troppo calore quando le temperature aumentano. L’oro non fa così: riflette i fotoni con quasi nessuna perdita. Ciò significa che ogni watt di energia fornito dal sistema viene effettivamente utilizzato per aumentare la temperatura della superficie del wafer.
Si tratta di precisione
Non stiamo semplicemente facendo riflettere la luce: la indirizziamo con precisione verso il punto desiderato. La curvatura della struttura rivestita d’oro permette di concentrare il calore su una zona specifica. In questo modo si riescono ad ottenere temperature desiderate più rapidamente. Inoltre, si ottiene anche un gradiente termico più uniforme. Se si lavora su un wafer di 300 mm, questa è l’unica soluzione per garantire che il processo di trattamento avvenga in modo uniforme su tutta la superficie.
I vantaggi e i limiti
Tuttavia, concentrare tanta energia comporta dei limiti. Poiché concentriamo tanto calore sul wafer, la struttura stessa può subire danni se il flusso d’aria non è sufficiente. È quindi necessario assicurarsi che i ventilatori e i dissipatori di calore siano efficienti. Se la struttura diventa troppo calda, può deformarsi. Una volta che la geometria cambia, il punto focale si sposta, e sul wafer compariranno zone fredde. Non è certo ideale.
La buona notizia è che questi sistemi possono sostituire facilmente i tradizionali dispositivi a infrarossi. Basta collegarli al controller esistente. Si noterà che il dispositivo raggiunge più rapidamente la temperatura desiderata, semplicemente perché non bisogna più “lottare” contro le leggi fisiche.