Asciugatrice compatta a infrarossi per circuiti integrati
Sulla linea di produzione, conoscete la procedura: una cottura del fotoresist che devia anche di 0.2°C può far uscire dai parametri di controllo la...
Lampada a infrarossi a onde corte per circuiti integrati (IC)
On the fab floor, si impara in fretta: una variazione di 0,1°C nella temperatura di bake può spostare una dimensione critica di nanometri e...