Di lantai produksi, proses pemanasan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan—ini merupakan syarat mutlak yang harus dipenuhi. Perubahan suhu...

Di fasilitas produksi, furnace jenis LPCVD tidak memiliki kesempatan kedua untuk mengatasi masalah akibat perubahan suhu yang tidak terkendali....