Pada garis produksi berukuran 300 mm ini, kita sudah menggunakan batas kemampuan termal yang ada. Perubahan suhu sebesar setengah derajat saja sudah...

Pada lini produksi berukuran 300 mm, kita tidak boleh membiarkan adanya penyimpangan suhu selama proses pemanasan fotoresist atau adanya partikel...