Mengapa kita beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah untuk wafer
Belakangan ini, ada tren yang kuat untuk menggunakan metode pengeringan dengan sinar inframerah. Hal ini masuk akal, karena kita berusaha menghindari penggunaan bahan pemanas berbasis pelarut, serta dampak negatifnya terhadap lingkungan yang sering ditemukan di pabrik-pabrik tradisional. Di ruang bersih, konsep “ramah lingkungan” atau “bebas timbal” bukan hanya sekadar slogan pemasaran saja, melainkan merupakan syarat yang harus dipenuhi. Teknologi IR bekerja dengan mengirimkan radiasi elektromagnetik langsung ke permukaan wafer. Tidak perlu ada perantara.
Trik untuk memanaskan secara efektif
Bayangkan oven konvensional biasa. Oven tersebut memanaskan udara terlebih dahulu, lalu udara itulah yang memanaskan komponen yang akan diproses. Proses ini lambat dan boros energi.
Lampu IR berbeda. Lampu ini mengeluarkan radiasi gelombang pendek yang langsung menembus permukaan wafer. Kita menyebutnya transfer energi secara langsung. Karena tidak ada pemborosan energi untuk memanaskan setiap bagian dari ruang proses, panas pun dapat diberikan secara instan. Sangat cepat. Dan inilah cara untuk mencapai tujuan penghematan energi tanpa mengorbankan kecepatan proses.
Menyeimbangkan jarak dan intensitas panas
Inilah bagian yang sulit. Sebagian besar insinyur kesulitan menentukan jarak yang tepat antara lampu dan wafer. Jika lampu dipasang terlalu dekat, maka akan timbul bagian-bagian yang terlalu panas, bahkan bisa merusak tepi wafer. Namun, jika lampu dipasang terlalu jauh, kecepatan proses akan menurun karena intensitas panasnya berkurang.
Ini seperti berjalan di tali tipis. Kita perlu menyeimbangkan densitas energi dari lampu dengan massa termal wafer. Lampu berintensitas tinggi memang bagus untuk meningkatkan kecepatan proses, tetapi hal ini memberikan tekanan besar pada sistem pendingin. Jika sistem pendingin tidak mampu mengimbangi panas yang dihasilkan, maka lampu akan cepat rusak.
Cara yang lebih baik untuk bekerja
Yang terbaik adalah bahwa metode pengeringan menggunakan sinar inframerah merupakan proses yang “kering”. Anda tidak perlu menggunakan katalis kimia atau bahan penstabil berbasis timbal. Tidak ada VOC yang keluar, dan tidak ada limbah berbahaya yang perlu dibersihkan. Anda hanya perlu menghubungkan lampu tersebut ke sumber listrik, menyetel timer, dan semuanya akan berjalan dengan lancar. Ini merupakan alternatif yang lebih baik dibandingkan sistem pemanasan konvensional yang rumit.