Di area litografi, adanya titik panas sebesar 0,5°C pada permukaan wafer dapat merusak kualitas lapisan pelindung wafer dan mengganggu proses kontrol ketebalan lapisan tersebut. Proses pemanasan jenis “soft bake” maupun “hard bake” tidak akan efektif jika suhu tidak merata—tidak pernah demikian, dan tidak akan pernah begitu di masa depan. Kami telah menciptakan alat pengukur tegangan permukaan wafer agar variasi suhu dapat dikendalikan, sehingga suhu tetap stabil pada kisaran ±0,1°C di seluruh permukaan wafer.
Yang penting dalam proses produksi
Heater ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih, dengan tingkat partikel yang rendah. Suhu dapat dikontrol secara real-time, sehingga nilai suhu tetap konstan sepanjang proses pemanasan. Rekurensi hasil pemrosesan pun terjaga karena mekanisme kontrol yang baik. Dengan demikian, variasi antar batch berkurang. Hasilnya adalah proses pembersihan pelarut yang konsisten, aliran fotoresist yang dapat diprediksi, serta energi permukaan yang stabil—sesuai dengan kebutuhan proses produksi.
Mengapa heater ini cocok untuk digunakan dalam produksi
Dalam lingkungan kelas 1–100, heater ini dapat berfungsi tanpa menimbulkan peningkatan jumlah partikel. Tidak adanya partikel berarti kualitas produk tetap terjaga, sehingga limbah akibat kerusakan produk pun berkurang. Medan termal yang seragam memungkinkan waktu pemanasan diperpendek tanpa mengorbankan kualitas fotoresist. Dengan demikian, kapasitas produksi meningkat, sedangkan penggunaan energi per wafer berkurang. Heater ini dirancang untuk beroperasi 24/7, sehingga tidak akan ada gangguan operasional akibat fluktuasi suhu.
Apa yang perlu diperhatikan saat pemasangan
Pemasangan heater membutuhkan penyesuaian yang tepat terhadap posisi wafer chuck, serta pasokan gas yang bersih dan kering untuk melindungi permukaan heater. Unit ini dapat bekerja dengan antarmuka standar, tetapi jika dilakukan modifikasi, diperlukan penyesuaian mekanis yang sedikit. Umur pakai heater akan tetap baik jika sistem ekstraksi udara panas dan sistem pendinginan mampu menyesuaikan diri dengan beban termal yang ada. Jika semuanya disesuaikan dengan baik, maka proses produksi akan berjalan sesuai spesifikasi yang diinginkan, hari demi hari.