Di lantai litografi, pemanggangan fotoresist adalah di mana anggaran termal Anda berubah menjadi kontrol lebar garis. Drifting soft bake bahkan satu derajat mengubah cara pelarut dibersihkan. Dan jika hard bake tidak konsisten di seluruh wafer, Anda bisa melupakan keseragaman CD yang ketat. Itulah tepatnya di mana pemanas fabrikasi karbon nanotube mendapatkan fungsinya.
Apa yang penting, secara teknis
Kami membangun pemanas ini di sekitar inframerah gelombang pendek dengan pemancar karbon nanotube. Mereka mencapai titik yang ditentukan dengan cepat dan mempertahankannya dengan stabil. Hasilnya adalah bidang termal di seluruh bidang wafer yang seragam dalam sub-milimeter, dengan keseragaman tingkat wafer ±0.1°C pada suhu pemanggangan fotoresist yang tipikal. Keterulangan berada di bawah 0.05°C drift dari titik ke titik selama 24 jam, sehingga setiap lot mendapatkan profil termal yang sama. Sistem tetap bersih, menghasilkan nol partikel, dan cocok untuk lingkungan cleanroom dari Kelas 1 hingga Kelas 100.
Mengapa ini berhasil dalam produksi
Dalam pelaksanaan sehari-hari, presisi itu diterjemahkan menjadi lebih sedikit lot yang perlu dikerjakan ulang dan distribusi CD yang lebih ketat. Jendela soft bake dan hard bake menjadi dapat diprediksi, yang mengurangi masalah latitude eksposur dan cacat scum dari penghilangan pelarut yang tidak lengkap. Respons termal yang cepat memperpendek siklus pemanggangan dan memangkas penggunaan energi. Dan keandalan 24/7 membantu menjaga waktu henti yang tidak direncanakan tetap di luar papan. Anda mendapatkan kinerja fotoresist yang konsisten, batch demi batch.
Apa yang perlu Anda ketahui
Pemanas ini dapat dipasang di jalur coat/bake yang ada, tetapi massa termalnya rendah. Itu berarti Anda perlu menyesuaikan profil oven untuk mencocokkan ramp yang lebih cepat. Pertahankan jarak di sekitar pemancar sesuai dengan desain—mempertahankan keseragaman dan mencegah titik panas lokal adalah hal yang tidak bisa ditawar. Atur dengan vendor peralatan Anda untuk pergantian, kemudian jalankan lot kualifikasi singkat untuk mengunci resep tersebut.