फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को उचित तापमान पर ही सुखाया जाना आवश्यक है… यह कोई सुझाव नहीं, बल्कि एक अनिवार्य आवश्यकता है। सॉफ्ट बेक या...

वास्तविक LPCVD प्रक्रिया में, LPCVD फर्नेस को तापीय विचलन की समस्याओं से बचने हेतु दूसरा मौका नहीं मिलता। थोड़ा सा भी विचलन होने पर फिल्म की मोटाई...