फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को उचित तापमान पर ही सुखाया जाना आवश्यक है… यह कोई सुझाव नहीं, बल्कि एक अनिवार्य आवश्यकता है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक प्रक्रिया में 2°से की भी छोटी तापमान-परिवर्तन से उत्पादों में दोष उत्पन्न हो सकते हैं, और ऐसे उत्पादों को अपशिष्ट धारण करना ही पड़ता है। फर्नेस लैंप को ऐसी ऊष्मा प्रदान करनी होती है, जो प्रत्येक शिफ्ट में समान रहे।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने SiC फर्नेस लैंप को छोटी तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड ऊष्मा के लिए डिज़ाइन किया है… ताकि त्वरित एवं समान ऊष्मा प्रदान की जा सके। वेफर की सतह पर तापमान-एकरूपता ±0.1°से के भीतर ही रखी जाती है।
लैंप का डिज़ाइन ऐसा है कि इसका उपयोग क्लीनरूम में भी किया जा सके… इसका मानक ISO क्लास 1–100 है। हम कम गैस-निर्माण वाली सामग्रियों का ही उपयोग करते हैं… ताकि कोई कण उत्पन्न ही न हो। “शून्य कण उत्पन्न होना” केवल एक घोषणा नहीं है… हम इसकी पुष्टि प्रक्रिया-परीक्षणों के दौरान ही करते हैं। इसका परिणाम है – स्थिर तापमान-प्रोफाइल, बेहतर प्रसंस्करण-प्रक्रिया, एवं हर बार समान फोटोरेजिस्ट-व्यवहार।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं के लिए यह क्यों उपयुक्त है?
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में तापमान-नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है… लैंप को तेज़ी से निर्धारित तापमान तक पहुँचाना होता है… उस तापमान को बनाए रखना होता है… एवं बाद में उसे ठंडा करना होता है… ताकि आगे की प्रक्रियाओं में कोई समस्या न हो।
यह SiC लैंप प्रक्रिया-समय को कम करता है… तापमान-विचलन को कम करता है… एवं हर शिफ्ट में समान प्रदर्शन देता है। व्यावहारिक रूप से, इसका अर्थ है – कम पुनर्प्रक्रियाओं की आवश्यकता, उच्च उत्पादन-दर, एवं नियोजित समय-सारणी। ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है… क्योंकि इनपुट ऊर्जा सीधे ऊष्मा में ही परिवर्तित हो जाती है… एवं लंबा सेवा-जीवन होने के कारण रखरखाव में कोई बाधा नहीं आती।
व्यावहारिक विवरण:
लैंप की स्थापना हेतु फर्नेस के आकार का सही मैच होना आवश्यक है… साथ ही वोल्टेज, कनेक्टर-प्रकार, एवं ग्राउंडिंग भी सही होनी चाहिए… ताकि कोई अतिरिक्त ऊष्मा उत्पन्न न हो।
लैंप तभी सर्वोत्तम प्रदर्शन देता है, जब चेम्बर के रिफ्लेक्टर का आकार लैंप के विकिरण-प्रोफाइल के अनुरूप हो। ऐसी स्थिति में ही तापमान-एकरूपता बनी रहती है।
वेफर की सतह का मानचित्रण करने हेतु एक छोटा परीक्षण-चक्र आवश्यक है… एक बार यह प्रक्रिया पूरी हो जाने के बाद, लैंप 24/7 कार्य करता रहता है… लेकिन फिर भी नियमित रूप से कैलिब्रेशन आवश्यक है… ताकि प्रक्रिया निर्धारित मानकों के अनुरूप ही चलती रहे।