Pourquoi nous passons à l’infrarouge pour le séchage des semi-conducteurs
La méthode traditionnelle de séchage dans les salles propres destinées à la fabrication de semi-conducteurs – qui repose sur la convection et les solvants – ne fonctionne plus vraiment aujourd’hui. Tout tend vers des normes “vertes” et sans plomb. C’est là que les chauffages infrarouges entrent en jeu.
Imaginez : les fours traditionnels consomment beaucoup d’énergie pour chauffer l’air, afin que cet air puisse ensuite chauffer la pièce à traiter. C’est du gaspillage. Les lampes infrarouges évitent complètement ce problème. Elles transmettent directement l’énergie au substrat.
C’est direct, c’est rapide… et c’est logique.
Éliminer l’intermédiaire
En utilisant la technologie infrarouge, on n’a plus besoin de chauffer toute la pièce. On n’a plus besoin de payer pour chauffer l’air autour de la pièce à traiter ; on chauffe directement la pièce elle-même.
Nous utilisons des émetteurs à ondes courtes et moyennes pour cibler précisément les bandes d’absorption du revêtement ou de l’adhésif utilisé. Au lieu d’attendre des minutes que le four atteigne la température souhaitée, on atteint cette température en quelques secondes. Les coûts énergétiques diminuent, et les wafer peuvent être traités bien plus rapidement.
Maintenir la propreté de la salle propre
Les soudures sans plomb et les résines écologiques sont assez exigentes en termes de conditions thermiques. Elles nécessitent un profil thermique très précis.
Si la température est trop élevée, le substrat est endommagé. Si elle est trop basse, le processus de séchage n’est pas complet. C’est une marge de manœuvre très étroite.
L’avantage de l’infrarouge, c’est que nous pouvons localiser la chaleur. On peut ajuster l’intensité pour atteindre précisément la température idéale, sans produire de composés organiques volatils dans la salle propre. C’est donc une méthode beaucoup plus propre.
Les compromis à accepter
Ce n’est pas tout magique. La radiation directe est rapide, mais il peut être difficile de distribuer uniformément la chaleur sur toute la surface de la pièce à traiter.
Si la pièce a certaines zones épaisses et d’autres zones fines, les zones fines se chaufferont en premier. On ne peut pas simplement laisser tout en l’état. Il faudra prendre le temps de calibrer l’espace entre les lampes et d’utiliser des matériaux réfléchissants pour éviter les points chauds.
La bonne nouvelle ? Ces chauffages ont été conçus pour remplacer ces vieux systèmes de convection. Ils occupent moins d’espace et nécessitent moins d’énergie.
Un conseil : assurez-vous que votre système de contrôle soit prêt pour gérer cette vitesse. Les lampes infrarouges réagissent instantanément. Elles n’ont pas ce temps de réponse lent que présentent les vieilles bobines résistives.