Arrêtez de gaspiller de la chaleur dans votre chambre à vide
soyons honnêtes : gaspiller de l’énergie dans une chambre à vide, c’est simplement un mauvais design. Lorsque l’on chauffe des wafer en silicium, chaque watt qui ne touche pas le substrat est perdu inutilement. Cette chaleur se dissipe alors dans les parois de la chambre, obligeant le système de refroidissement à travailler deux fois plus dur, sans raison. C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or. Il s’agit de garder la chaleur là où elle doit être.
Pourquoi choisir l’or ?
La plupart des gens commencent avec des réflecteurs en aluminium, mais le problème, c’est qu’ils laissent passer trop d’énergie infrarouge. Nous utilisons donc une couche d’or de haute pureté, car elle permet de gérer beaucoup mieux les ondes infrarouges de longue et moyenne longueur d’onde. Elle ne se contente pas de renvoyer la lumière ; elle dirige directement le flux thermique vers le wafer. Comme le réflecteur ne absorbe pas lui-même l’énergie, presque toute l’énergie atteint son objectif.
Le secret pour obtenir une densité énergétique élevée
Obtenir une haute densité énergétique sur un wafer nécessite un équilibre précis entre la puissance de la lampe et la forme du réflecteur. Si vous utilisez simplement une lampe à haute puissance sans réflecteur en or de qualité, vous obtiendrez des points chauds et un chauffage inégal. C’est un vrai désastre. Nos systèmes recouverts d’or permettent de concentrer le flux thermique. Vous atteignez ainsi plus rapidement les températures souhaitées, sans avoir besoin d’augmenter excessivement la tension électrique, ce qui pourrait endommager le filament de la lampe.
L’inconvénient (car il y en a toujours un)
L’or est le meilleur outil pour cette tâche, mais il n’est pas indestructible. Ces surfaces sont sensibles : si votre procédé utilise des gaz corrosifs ou génère beaucoup de gaz, la couche d’or peut commencer à se dégrader. Il faut donc maintenir la chambre propre. Si une couche se forme sur le réflecteur, l’efficacité diminue, et vous devrez fournir plus d’énergie pour maintenir le wafer à la même température.
Un dernier conseil : branchez ces appareils sur une alimentation électrique stable. Il faut éviter les pics de tension. Un courant constant permet de garantir un spectre d’émission cohérent, ce qui est essentiel pour assurer une distribution uniforme de la chaleur sur tout le wafer.