In einer 300-mm-Fabriklinie darf es keine Abweichungen bei der Behandlung des Photosensors durch Wärmebehandlung geben – auch nicht während des Trocknens der Wafer. Wenn der thermische Bedarf gering ist, ist das Heizelement nicht nur eine Hardwarekomponente, sondern bildet vielmehr einen wesentlichen Bestandteil des gesamten Prozesses. Unsere Online-Infrarotheizmodule sind genau für solche Situationen konzipiert: Sie ermöglichen eine präzise Temperaturregulierung – ohne Rückschlüsse auf Erfahrungen aus der Vergangenheit.
Was technisch wichtig ist:
Wir nutzen Kurzwelleninfrarotstrahlung, um eine schnelle und direkte Energieübertragung zu gewährleisten – mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. Dadurch wird eine Homogenität der Temperatur auf der Waferoberfläche von ±0,1°C erreicht – genau das, was für die Soft- und Hard-Bake-Prozesse benötigt wird. Die Emiter arbeiten zuverlässig: Es entstehen keine Partikel, und sie eignen sich für Umgebungen von Klasse 1 bis Klasse 100. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden stabil – dadurch bleibt die Reproduzierbarkeit gewährleistet, und die CD- sowie Defektfrequenz ändern sich im Laufe der Zeit nicht.
Warum es funktioniert:
In den Lithografieanlagen stabilisiert das Modul die Temperatur während der Soft-Bake-Phase, sodass die Verdunstung des Lösungsmittels gemäß den Vorgaben des Herstellers stattfindet – unabhängig von Schwankungen in der Umgebungstemperatur. Beim Trocknen werden keine „Wassermerkmale“ hinterlassen, was wiederum Fehler und Ausschuss reduziert. Der Energieverbrauch sinkt, da die Emiter nur das Zielobjekt erwärmen, nicht den gesamten Raum.
Wenn die Produktion weiterlaufen muss:
Es stehen Ersatzmodule zur Verfügung. Diese können einfach in die vorhandenen Anlagen eingebaut werden – mit definierten Steckverbindungen und Kalibrierungsdateien. So kann die Leistung der Anlage wiederhergestellt werden, ohne den ganzen Prozess neu kalibrieren zu müssen.
Was Sie berücksichtigen sollten:
Beim Einsatz von Infrarotheizung spielt die Geometrie sowie die Emissivität eine wichtige Rolle. Planen Sie die Anordnung der Emiter sorgfältig und stellen Sie sicher, dass die Sichtlinie optimal ist. Führen Sie anschließend Tests durch, um die tatsächliche Waftertemperatur zu ermitteln. Nach einem kurzen Aufwärmvorgang bleibt die Temperatur stabil.Eine präzise Temperaturregulierung ist entscheidend, um einen stabilen Prozess zu gewährleisten.