Silikon waflarını ısıtırken harcanan her bir watt, aslında boşa giden para demektir.
Sorun şu ki: Standart kızılötesi lambalar enerjiyi her yöne yayıyor. Ancak bir wafer işleme cihazında önemli olan sadece substrata ulaşan ısıdır. Geri kalan her şey gereksizdir. Bunu altın kaplama teknolojisiyle çözüyoruz. Enerjinin cihazın dışına sızmamasını sağlayarak onu doğrudan wafer üzerine yönlendiriyoruz.
Neden altın?
Çünkü altın, kızılötesi ışığı yansıtma konusunda mükemmeldir. Çoğu insan alüminyum reflektörler kullanır; ancak bunlar ısındıkça çok fazla ısı emerler. Altın ise böyle değildir. Fotonları neredeyse hiç kayıp olmadan geri yansıtır. Bu da güç kaynağından aldığınız her bir wattın amacına ulaştığı anlamına gelir; yani waferin yüzey sıcaklığını artırır.
Her şey odaklanmayla ilgilidir
Biz sadece ışığı etrafa saçmıyoruz; onu belirli bir noktaya yönlendiriyoruz. Altın kaplı yapıların şekli, bu ısının belirli bir alana yoğunlaşmasını sağlar. Böylece hedeflenen sıcaklıklara daha hızlı ulaşılır. Ayrıca bu sayede daha düzenli bir termal gradyan elde edilir. Eğer 300 mm’lik bir yüzeyle çalışıyorsanız, işlemin tüm yüzeyde eşit şekilde gerçekleşmesini sağlamanın tek yolu budur.
Olumsuz yanlar ve nasıl çözülür?
Bu kadar çok enerjinin yoğunlaştırılması bazı sorunlara yol açar. Çok fazla ısı wafer üzerine yönlendirildiği için, eğer hava akışı düzgün değilse cihazın kendisi zarar görebilir. Soğutma fanlarının ve ısı dağıtıcılarının işini yerine getirebilmesi gerekir. Eğer cihaz çok ısınırsa şekli değişebilir. Şekil değiştikçe odak noktası da değişir ve waferde soğuk noktalar oluşur. Bu pek ideal değildir.
İyi haber şu ki: Bu sistemler, standart kızılötesi cihazların yerine kullanılabilecek şekilde tasarlanmıştır. Mevcut kontrol cihazınıza bağlamanız yeterlidir. Fizik yasalarıyla mücadele etmek zorunda kalmadığınız için cihazın hedeflenen sıcaklığa daha hızlı ulaştığını göreceksiniz.