Üretim alanında, kurutma veya pişirme sırasındaki sıcaklık değişiklikleri yalnızca grafiklerde bir dalgalanma olarak görünmekle kalmaz; aynı zamanda ürün verimliliğini de olumsuz etkiler. 1°C’lik bir sıcaklık değişimi, kritik boyutları nanometre cinsinden değiştirebilir. Ayrıca kirli ısıtıcılar, çok sayıda ürünün zarar görmesine neden olabilir. Bu tür değişiklikleri en başta engellemek için PID kontrollü bir yarı iletken ısıtıcı geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olan şeyler şunlardır: Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlarla kapalı döngülü PID kontrolörü bir araya getirerek, wafer üzerindeki sıcaklığı ±0,1°C aralığında tutuyoruz. Chuck’un homojenliği ise ±0,5°C’nin altında oluyor; böylece tüm fotoresist tabakası aynı termal koşullara sahip oluyor. Tepki süresi 300 ms’nin altında olduğundan, işlemler daha düzenli gerçekleşiyor. Kuvars pencere ve temiz oda uyumlu muhafaza, Class 1–100 standardlarına uygundur. Ayrıca ısıtıcının yapısı, çalışma sıcaklığında hiçbir parçacık üretmez. 24 saat boyunca tekrarlanabilirlik ≤0,2°C civarında kalıyor; bu da üst üste gelme ve CD kontrolünün standartlarda kalmasını sağlar.
İşlem sürecinde nasıl işlediğine gelince: Waferin kurutulmasında hızlı ve homojen kızılötesi ışınlar, yüzeydeki nemleri alırken substratı yakmaz. Bu sayede yüzey gerilimiyle ilgili sorunlar ortadan kalkar. Litografi işlemlerinde ise aynı sistem hem yumuşak pişirme hem de sert pişirme işlemlerini gerçekleştirebilir; bu da tutarlı fotoresist kalınlığı, yapışkanlık ve aşındırma seçiciliği için gereklidir.
PID döngüsü, hat kaymalarını, partiler arasındaki farklılıkları ve çevresel değişiklikleri telafi eder; böylece gece saat 3’teki koşullar gün içindeki koşullar gibi olur. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; çünkü kızılötesi ışınlar sadece hedefi ısıtır, çerçeveyi değil.
Birkaç pratik ipucu: Montaj işleminde emisivite ve görüş faktörü önemlidir. Koyu renkli kaplamalar veya koruyucular yerel sıcak noktalar oluşturabilir; bu yüzden kalibrasyon haritası sağlıyoruz ve sizin de kendi chuck’unuzda termal profil ölçümü yapmanızı öneriyoruz. Isıtıcı standart 24 V kontrol voltajına ve 110–240 V giriş voltajlarına sahiptir; ancak PID ayarları uygulamaya özgüdür. Süreciniz için aşırı tepki süresini ve sabitlenme süresini belirlemek için kısa bir test işlemi yapın.