Litografi Katında
Foto direnç pişirme, termal bütçenizin çizgi genişliği kontrolüne dönüştüğü yerdir. Yumuşak pişirme sırasında bir derece kayma, solventin nasıl temizlendiğini değiştirir. Ve sert pişirme, wafer üzerinde tutarlı değilse, sıkı CD birliğinden bahsedemezsiniz. İşte tam burada karbon nanotüp üretim ısıtıcıları devreye girer.
Teknolojik Olarak Ne Önemli
Bu ısıtıcıları, kısa dalga kızılötesi ile karbon nanotüp verici etrafında inşa ettik. Hızlı bir şekilde ayar noktasına ulaşır ve sabit kalır. Ödül, wafer düzlemi boyunca milimetrenin altındaki bir alanda homojen olan termal bir sahadır ve tipik foto direnç pişirme sıcaklıklarında wafer düzeyinde ±0.1°C birliği sağlar. Tekrar edilebilirlik, 24 saat içinde 0.05°C’lik bir ayar noktası kayması ile gerçekleşir, bu nedenle her parti aynı termal profile sahip olur. Sistem temiz kalır, sıfır partikül üretir ve Class 1’den Class 100’e kadar temiz oda ortamlarına uyar.
Neden Bu Üretimde İşe Yarar
Günlük çalışmalarda, bu hassasiyet daha az yeniden işleme partisi ve daha sıkı CD dağılımları ile sonuçlanır. Yumuşak pişirme ve sert pişirme pencereleri öngörülebilir hale gelir, bu da maruz kalma genişliği sorunlarını ve eksik solvent çıkarma nedeniyle oluşan kirlenmeleri azaltır. Hızlı termal yanıt, pişirme döngülerini kısaltır ve enerji kullanımını azaltır. Ve 24/7 güvenilirliği, plansız duruş sürelerini azaltmaya yardımcı olur. Her parti için tutarlı foto direnç performansı elde edersiniz.
Bilmeniz Gerekenler
Bu ısıtıcılar mevcut kaplama/pişirme hatlarına entegre edilebilir, ancak termal kütle düşüktür. Bu, fırın profilini daha hızlı yükselme ile eşleşecek şekilde yeniden ayarlamanız gerektiği anlamına gelir. Verici etrafındaki boşluğu tasarlandığı gibi koruyun - birliği sağlamak ve yerel sıcak noktalarından kaçınmak müzakere edilemez. Değişim için ekipman tedarikçinizle hizalayın, ardından tarife kilitlenmesi için kısa bir yeterlilik partisi çalıştırın.