Cam kırıklarını önleyin: Wafer ısıtıcılarınızın arızalanmasını engelleyin
Yüksek yük altındaki yarı iletken üretim sistemlerinde, bir kızılötesi lambanın patlaması sadece bir arıza durumu değildir; bu bir kabus gibidir. Kuvars tüpü bozulduğunda sadece çalışmayı bırakmakla kalmaz; aynı zamanda waferlerin üzerine cam parçaları ve diğer partiküller saçılır. Küçük bir patlama bile tüm üretimi mahvedebilir. İşte bu yüzden ısıtıcılarımızı, böyle bir durumun başlamasından önce engelleyecek şekilde tasarlıyoruz.
Tüplerin neden bozulduğu
Çoğu zaman sorun, eşit olmayan ısı dağılımı veya aniden artan voltajdan kaynaklanır. Eğer ısı eşit olarak dağılmazsa, cam zayıflar ve sonunda patlar. Bunu önlemek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Ayrıca filamanın merkezlenmesine de büyük önem veriyoruz. Eğer filaman mükemmel şekilde merkezlenirse, ısı eşit olarak yayılır. Böylece ne sıcak noktalar oluşur ne de yapısal zayıflıklar meydana gelir.
Ancak şunu unutmamak gerekir: Eğer lambalarınızı 24/7 maksimum güçle çalıştırırsanız, cam zarar görür. Lambaların erken yanmasını önlemek için güç kaynağının lambanın özelliklerine tam olarak uygun ayarlanması gerekir. Aşırı voltaj, lambaların hızla bozulmasına neden olan en önemli faktördür.
Güvenlik önlemleri
Her türlü arızayı önceden tahmin edemeyeceğimiz için birkaç koruma katmanı ekliyoruz. Özel koruyucu kaplamalar veya feda edilebilir kuvars kılıfları kullanabiliriz. Bu kılıflar adeta bir koruyucu kalkan görevi görür. İçerideki ısıtma elemanı patladığında, kılıf tüm parçaları içinde tutar. Böylece cam parçaları silikonun üzerine düşmez. Ayrıca kenarları da göz ardı etmiyoruz; sağlam uç kapakları ve konektörler kullanıyoruz. Eğer conta gevşekse, hava sızar ve filaman birkaç saat içinde yanar.
Bir dezavantaj daha
Elbette bunun bir dezavantajı da var. Bu tür kılıflar veya kaplamalar, kızılötesi ışığın iletimini biraz engeller. Isı yoğunluğunda %5-10’luk bir düşüş olabilir. Sürecin istenilen seviyede kalabilmesi için rampa sürelerini ayarlamak veya gücü biraz artırmak gerekebilir. Bu küçük bir bedeldir. Bir lambanın patlaması yüzünden tüm waferlerin ziyan edilmesinden çok daha iyidir.