หยุดการสูญเสียพลังงานไปกับพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์เสียที
ในโรงงานผลิตชิป การสูญเสียพลังงานไม่ใช่เพียงแค่ปัญหาด้านงบประมาณเท่านั้น แต่ยังเป็นปัญหาที่น่าปวดหัวอีกด้วย เมื่อเราต้องการให้แผ่นเวเฟอร์ร้อนขึ้น เราไม่ได้ต้องการเพียงแค่ความร้อนทั่วไปเท่านั้น แต่ต้องการให้ความร้อนนั้นอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสม
นั่นคือเหตุผลที่เราใช้กระจกสะท้อนที่มีการเคลือบทองคำ แทนที่จะปล่อยให้รังสีอินฟราเรดไหลเข้าไปในตัวเครื่อง เราก็สะท้อนรังสีนั้นกลับมาที่แผ่นเวเฟอร์แทน
ทำไมถึงเลือกทองคำ?
คนส่วนใหญ่มักเริ่มต้นด้วยการใช้อลูมิเนียม แต่มีข้อเสียอยู่อย่างหนึ่ง นั่นคืออลูมิเนียมดูดซับพลังงานมากเกินไป มันเหมือนกับการพยายามสะท้อนลูกบอลกลับมาจากสปองเลย
ทองคำนั้นแตกต่างออกไป มันมีคุณสมบัติการสะท้อนแสงในช่วงอินฟราเรดได้อย่างยอดเยี่ยม การใช้ทองคำคุณภาพสูงจะช่วยลดการสูญเสียพลังงานได้ ทำให้เราได้ความร้อนมากขึ้นในแต่ละวัตต์ ซึ่งหมายความว่าเราจะสามารถทำให้แผ่นเวเฟอร์ร้อนขึ้นได้เร็วขึ้น นอกจากนี้ ยังไม่จำเป็นต้องเพิ่มแรงดันไฟฟ้ามากเกินไป ซึ่งอาจทำให้หลอดไฟเสียหายได้
การปรับโฟกัสให้เหมาะสม
นี่คือจุดที่มักเกิดปัญหาได้ หากลำแสงไม่มีโฟกัสที่ถูกต้อง เราก็จะไม่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้เลย
เราใช้รูปทรงโค้งหรือรูปทรงรีเพื่อทำให้ลำแสงอินฟราเรดมีความหนาแน่นสูง ซึ่งจะช่วยให้เราสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ
แต่ก็ต้องมีการปรับสมดุลด้วย หากรูปทรงไม่ถูกต้องเพียงเล็กน้อย ก็จะเกิดจุดร้อนขึ้น ซึ่งจะทำให้แผ่นเวเฟอร์เสียรูปได้ ทองคำช่วยให้อุณหภูมิสม่ำเสมอ โดยช่วยรักษาค่าดัชนีการสะท้อนแสงให้คงที่ ทำให้อุณหภูมิบนแผ่นเวเฟอร์อยู่ในช่วงไม่กี่องศาเท่านั้น การที่รู้ว่าความร้อนกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอนั้นเป็นเรื่องที่น่ายินดีมาก
ความจริงก็คือ…
ทองคำไม่ใช่วัสดุที่มีราคาถูกเลย มันเป็นการลงทุนที่สูงกว่าเหล็กหรืออลูมิเนียมที่มีการเคลือบผิวแล้ว
นอกจากนี้ ทองคำยังต้องการการดูแลอย่างระมัดระวังด้วย หากไม่มีการดูแลผิวหน้าให้สะอาดอยู่เสมอ ประสิทธิภาพในการใช้พลังงานก็จะหายไปเลย