วิธีรักษาความสะอาดของแผ่นวูเฟอร์ให้อยู่ในสภาพดีตลอดเวลา
เมื่อคุณนำแผ่นวูเฟอร์สำหรับเซ็นเซอร์ MEMS ไปอบแห้ง ความร้อนเป็นเพียงส่วนหนึ่งของกระบวนการเท่านั้น ปัญหาจริงๆ คือฝุ่นละอองที่อาจเกิดขึ้นได้ ในห้องสะอาดระดับ Class 100 แม้จะมีเพียงเศษฉนวนกันความร้อนขนาดเล็กหรือเศษออกไซด์โลหะเพียงเล็กน้อย ก็สามารถทำลายผลิตภัณฑ์ทั้งหมดได้ ซึ่งเป็นเรื่องน่าหงุดหงิดและมีค่าใช้จ่ายสูงด้วย
นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์คุณภาพสูง
ปัญหาของเทคโนโลยีการให้ความร้อนแบบ “มาตรฐาน”
หัวขับความร้อนส่วนใหญ่มักมีปัญหาเรื่องการปล่อยก๊าซหรือเศษส่วนต่างๆ ออกมาขณะที่มีการให้ความร้อนหรือทำให้เย็นลง เราไม่มีปัญหาแบบนั้น เพราะเราใช้ควอตซ์คุณภาพสูง ซึ่งสามารถทนต่อความร้อนสูงได้โดยไม่เกิดรอยแตกหรือรอยขีดข่วน
นอกจากนี้ เรายังกำจัดสารเคมีที่ใช้เป็นตัวเชื่อมต่อและสารเคลือบราคาถูกออกไปด้วย เพราะสารเหล่านี้อาจระเหยออกมาและไปติดอยู่บนแผ่นวูเฟอร์ได้ ดังนั้นเราจึงได้แหล่งความร้อนที่สามารถทำหน้าที่ได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ก่อให้เกิดความสกปรก
หยุดการเคลื่อนที่ของฝุ่น
ปัญหาของการให้ความร้อนแบบการนำความร้อนโดยอากาศก็คือ การเคลื่อนที่ของอากาศหมายถึงการเคลื่อนที่ของฝุ่นด้วย เราจึงใช้หลอดไฟอินฟราเรดคลื่นสั้นแทน หลอดไฟชนิดนี้จะส่งพลังงานไปยังหยดน้ำบนแผ่นวูเฟอร์โดยตรง ซึ่งทำให้การอบแห้งเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็ว และเนื่องจากไม่มีอากาศที่มีความเร็วสูงมากรบกวน จึงไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นในห้องสะอาดด้วย
รายละเอียดการติดตั้ง
การนำหลอดไฟเหล่านี้มาใช้ในสถานีอบแห้งนั้นไม่ใช่เรื่องง่ายเลย คุณต้องปรับแรงดันไฟฟ้าให้เหมาะสมด้วย หลอดไฟควอตซ์คุณภาพสูงเหล่านี้มีกำลังสูงมาก ดังนั้นแหล่งจ่ายไฟของคุณจึงต้องรองรับแรงดันไฟฟ้าที่สูงด้วย
คุณควรตรวจสอบระบบระบายความร้อนให้ดีด้วย หากห้องไม่มีการระบายอากาศที่ดี ความร้อนจะทำให้ตัวยึดแผ่นวูเฟอร์เสียรูปได้ ซึ่งจะแก้ไขได้ยากมากเมื่อเกิดขึ้นแล้ว ดังนั้นควรจัดการเรื่องการระบายอากาศให้ดีตั้งแต่เริ่มต้น
เราออกแบบให้หลอดไฟเหล่านี้มีขนาดกะทัดรัด เพื่อให้สามารถติดตั้งได้ง่ายในห้องสะอาดหรืออุโมงค์อบแห้ง วิธีนี้จะช่วยให้เกิดการถ่ายเทความร้อนได้โดยตรง ทำให้การอบแห้งเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็ว และได้ผลลัพธ์ที่ดีขึ้น แต่ขอเตือนไว้ก่อนว่า ต้องแน่ใจว่าสายไฟของคุณสามารถรับแรงดันไฟฟ้าที่สูงได้ด้วย ไม่มีใครอยากให้ขั้วต่อไฟฟ้าเสียหายหรอก.