Прекратите тратить энергию впустую на оборудование для обработки кремниевых пластин
Когда вы нагреваете кремниевые пластины, каждый потраченный ватт – это просто деньги, уходящие на ветер.
Проблема в том, что стандартные инфракрасные лампы излучают энергию во все стороны. Но при обработке кремниевых пластин важен только тот жар, который попадает на саму поверхность пластины. Всё остальное – это просто лишняя энергия. Мы решаем эту проблему с помощью технологии покрытия золотом. Вместо того чтобы позволять энергии распространяться по корпусу оборудования, мы направляем её обратно на саму пластину.
Почему именно золото?
Потому что золото отлично отражает инфракрасное излучение. Большинство людей используют алюминиевые отражатели, но они поглощают слишком много тепла при высоких температурах. Золото же не такое: оно отражает фотоны с почти полной потерей энергии. Это значит, что каждый ватт, получаемый от источника питания, действительно используется для повышения температуры поверхности пластины.
Всё дело в фокусировке
Мы не просто направляем свет, а фокусируем его на конкретной точке. Кривизна корпуса, покрытого золотом, позволяет сосредоточить тепло именно на нужной области. Таким образом можно быстрее достичь желаемой температуры. Кроме того, это обеспечивает более равномерный тепловой градиент. Если вы работаете с пластинами размером 300 мм, это единственный способ обеспечить однородную обработку всей поверхности.
Недостатки и способы их преодоления
Однако сосредоточение такого количества энергии имеет свои недостатки. Поскольку мы направляем много тепла на пластину, сам корпус может повредиться, если система охлаждения не справляется со своей задачей. Необходимо убедиться, что вентиляторы и радиаторы охлаждения работают должным образом. Если корпус слишком нагревается, он может деформироваться. В результате фокусировка тепла смещается, и на пластине появляются холодные зоны. Это не идеально.
Хорошая новость заключается в том, что такие системы могут заменить стандартные инфракрасные устройства. Достаточно подключить их к существующему контроллеру. Вы заметите, что оборудование достигает заданной температуры гораздо быстрее, потому что больше не приходится бороться с законами физики.