Как сохранить чистоту wafer в процессе сушки
При сушке wafer датчиков MEMS тепло является лишь одним из факторов, важных для успешного процесса. Настоящей проблемой является образование частиц пыли. В чистой комнате класса 100 даже один крошечный кусочек старого утеплителя или крупица оксида металла может испортить всю партию продукции. Это раздражает и приносит большие финансовые потери.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца.
Проблемы с «стандартными» источниками тепла
Большинство нагревательных элементов имеют склонность к выделению газов или образованию частиц при нагревании и охлаждении. У нас такого не происходит. Благодаря использованию высокочистого кварца мы получаем материал, который способен выдерживать экстремальные температурные перепады без появления трещин или других повреждений.
Кроме того, мы исключаем использование органических связующих веществ и дешевых покрытий. Почему? Потому что они могут испаряться и оседать на wafer. Вместо этого мы получаем источник тепла, который выполняет свою функцию без создания лишней пыли.
Как избежать движения пыли
Проблема с конвективным нагревом заключается в том, что он требует движения воздуха. А движение воздуха означает перемещение пыли. Мы используем коротковолновый инфракрасный свет. Он передает энергию прямо в капли воды на поверхности wafer. Это происходит очень быстро. Кроме того, поскольку воздух не подается с высокой скоростью, пыль не поднимается в воздухе.
Детали настройки
Установка этих ламп в устройство для сушки — это не просто дело «подключи и работай». Необходимо правильно настроить мощность питания. Эти лампы потребляют большое количество энергии, поэтому блоки питания должны быть достаточно мощными.
Также необходимо убедиться, что система охлаждения работает правильно. Если корпус не имеет должной вентиляции, окружающее тепло может повредить крепления ламп. Это сложно исправить, поэтому важно с самого начала правильно настроить приток воздуха.
Мы стараемся сделать размеры ламп минимальными, чтобы они могли легко помещаться в вакуумные камеры или туннели для сушки. Это обеспечивает прямую передачу тепла, ускоряет процесс сушки и повышает качество продукции. Совет: убедитесь, что электропроводка рассчитана на такую нагрузку. Никто не хочет, чтобы контакты сгорели.