Het verminderen van de koolstofuitstoot in halfgeleiderfabrieken met infraroodverwarming
Laten we eerlijk zijn: halfgeleiderfabrieken staan onder enorme druk om de doelstellingen van nul-koolstofuitstoot te halen. Maar als je kijkt naar waar de energie eigenlijk naartoe gaat, dan gebeurt het grootste deel van de energieverbruik tijdens het proces van verwarming en drogen.
Traditionele convectieovens zijn eigenlijk enorme bronnen van energieverlies. Ze verspillen enorm veel energie door alleen maar lucht op te warmen die zelfs niet in contact komt met het product.
Het gebruik van gecertificeerde infraroodlampen verandert dit hele proces. In plaats van een hele ruimte op te warmen, werken deze lampen rechtstreeks op de wafer. Het is effectiever.
Stop met wachten tot de oven op temperatuur is.
Eén van de voordelen van infraroodlampen is dat ze direct beschikbaar zijn. Je hoeft niet te wachten tot de oven op temperatuur is voordat je de onderdelen erin kunt plaatsen. Je hoeft alleen maar de schakelaar om te zetten.
Door dit voorverwarmingsproces weg te laten, kun je de energieverbruik per wafer aanzienlijk verminderen. In een fabriek met hoge productiesnelheden leidt dit tot grote besparingen. Het is een eenvoudige manier om de totale koolstofuitstoot te verminderen, zonder dat je al je infrastructuur hoeft te veranderen.
De details
Om de hitte diep in de fotoresistentielagen of lijmlagen te brengen, gebruiken we kortegolfd infraroodlicht. Omdat niemand contaminatie in een schone ruimte wil, gebruiken we kwartsomhulsels van hoge zuiverheid om emissies te voorkomen. Je kunt de vermogensdichtheid kiezen op basis van hoe snel je de gewenste temperatuur wilt bereiken.
Let op: lampen met hoge vermogensdichtheid genereren veel hitte. Zorg ervoor dat je koelsystemen adequaat zijn. Als de luchtcirculatie te zwak is, zal de lamp oververhit raken en zullen de glasdraden sneller kapotgaan dan nodig is.
In gebruik nemen
Het goede nieuws is dat deze lampen gemakkelijk kunnen worden vervangen door de oude verwarmings-elementen. De bedrading is relatief simpel. Zorg er alleen voor dat de spanning overeenkomt met die van je bestaande stroomvoorziening. Anders kan het gebeuren dat de lampen knipperen of eerder kapotgaan.
Als een lamp toch kapotgaat, duurt het maar een paar minuten om hem te vervangen. Dit is een stuk minder lastig dan het repareren van een grote industriële oven. Je vervangt dus een groot, energieverspillend systeem door iets compacts dat echt effectief is.