Pada garisan 300mm ini, kita sebenarnya sudah menggunakan sepenuhnya kapasiti terma yang ada. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran boleh menyebabkan perubahan pada profil lapisan fotoresist. Selain itu, ketidseragaman suhu semasa proses pembakaran akan menyebabkan adanya lapisan sisa di bahagian tepi wafer. Perubahan suhu seperti ini bukan sahaja memperlahankan proses pengeluaran, tetapi juga mengakibatkan pembaziran bahan. Kami menggunakan lampu-lampu ganti dari ASML untuk mengurangkan variasi tersebut dalam proses pengeluaran.
Apa yang penting dari segi teknikalnya: Kita perlu menyesuaikan tingkah laku termal platform ASML dengan output gelombang pendek dan sederhana yang sesuai untuk proses pembakaran fotoresist. Di seluruh permukaan wafer, tahap seragaman suhu kekal pada ±0.1°C, manakala kebolehulangan pula kekal dalam lingkungan ±0.2°C dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Lampu-lampu ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100 tanpa menambahkan zarah-zarah tertentu, dan hal ini telah disahkan secara langsung. Lampu-lampu ini direka untuk beroperasi 24/7, selama lebih dari 5,000 jam, sambil memastikan outputnya tetap stabil dalam lingkungan 5%. Oleh kerana voltan dan sambungan lampu ini sesuai dengan antaramuka alat ASML, maka lampu ganti ini boleh digunakan tanpa perlu melakukan penyesuaian lagi.
Inilah sebabnya mengapa cara ini berkesan dalam proses pengeluaran. Dengan menggunakan lampu ganti ini, suhu semasa proses pembakaran dapat dikawal dengan lebih baik, sehingga dimensi-komponen penting dapat dikawal dengan tepat. Kebolehulangan suhu yang lebih baik bermakna kurangnya kerja ulang, kurangnya pembaziran bahan, dan masa yang diperlukan untuk kembali ke keadaan stabil setelah menukar lampu menjadi lebih singkat. Selain itu, penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan, kerana lampu ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat dan mempertahankannya tanpa adanya variasi suhu yang berlebihan – sekali gus mengurangkan kos tenaga tanpa perlu mengubah prosedur pengeluaran.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diperhatikan: Pemasangan lampu ini cukup mudah, tetapi perlu dilakukan dengan hati-hati agar lampu tersebut tetap bersih dan bebas daripada zarah-zarah negatif. Cap jari pada lapisan kuarsa lampu boleh menyebabkan berlakunya titik panas. Semak firmware alat tersebut sebelum digunakan – beberapa controller lama memerlukan penyesuaian agar sesuai dengan grafik suhu lampu yang baru. Setelah semuanya disesuaikan, lakukan ujian singkat untuk memastikan dos dan suhu yang digunakan adalah tepat, kemudian masukkan lampu ganti ini ke dalam jadual penyelenggaraan rutin.