300mm 제조 라인에서는 포토레지스트를 부드럽게 건조시키는 과정에서의 온도 변동이나 웨이퍼 건조 중에 발생하는 이물질 문제를 용납할 수 없습니다. 열 관리가 매우 중요한 상황에서는 가열 요소가 단순한 하드웨어가 아니라, 공정 자체와 직결된 요소입니다. 당사의 온라인 적외선 가열 모듈은 바로 such한 상황을 위해 설계되었으며, 추측에 의존하지 않고 정확한 온도 제어가 가능합니다.
기술적으로 중요한 점 당사는 초단파 적외선을 활용하여 빠르고 직접적인 에너지 전달을 실현합니다. 이를 통해 베이킹 구역 내에서 웨이퍼의 온도가 ±0.1°C 이내로 일정하게 유지됩니다. 이는 부드러운 건조 및 강력한 건조 공정에 필수적인 조건입니다. 또한, 이 가열 모듈은 아무런 이물질도 생성하지 않으며, 1등급부터 100등급까지의 환경에서도 사용할 수 있습니다. 5,000시간 이상 사용해도 출력 성능이 안정적이므로, 램프가 낡아도 CD 품질과 결함률이 변하지 않습니다.
왜 이 방식이 효과적인가? 리소그래피 공정에서는 이 가열 모듈이 부드러운 건조 과정에서의 온도를 일정하게 유지시켜 주어, 용매의 증발이 포토레지스트 제조사의 규격에 맞게 이루어집니다. 건조 과정에서는 워터마크가 생기지 않아 재작업과 폐기물이 줄어듭니다. 또한, 가열 모듈은 전체 챔버가 아닌 목표물만을 가열하기 때문에 에너지 소비도 줄어듭니다.
준비해야 할 사항 적외선 가열은 직선적인 경로로 이루어지므로, 가열 요소의 배치와 방사율이 매우 중요합니다. 웨이퍼 스택에 맞는 적절한 위치에 가열 요소를 설치한 다음, 실제 웨이퍼 온도와 설정된 온도가 일치하는지 확인하는 테스트를 진행해야 합니다. 안정화까지는 약간의 시간이 걸리지만, 그 후에는 온도가 일정하게 유지됩니다. 온도 제어가 잘 되면 안정적인 공정이 가능해지고, 그렇지 않으면 많은 비용이 드는 문제가 발생할 수 있습니다.