LPCVD 용광로 가열 요소

생산 현장에서는 LPCVD 용광로가 열 변동으로 인해 두 번째 기회를 얻을 수 없습니다. 단 한 번의 오차만 있어도 필름의 두께가 고르지 않아지고, 도핑된 접합부가 제대로 위치하지 않으며, 결국 폐기될 웨이퍼들이 생겨납니다. 저희는 매번 일관된 열 관리가 이루어질 수...