真空対応の赤外線ヒーター：なぜウェーハ製造工場は、0.1℃という高精度な温度制御のために、再び当社のR7sハロゲンランプを選ぶのか
私たちがこの真空対応の赤外線ヒーターを開発したのは、単純な理由からです。それは、チャンバー内の温度を常に安定させるためです。温度の変動や漏れは一切許されず、正確で再現性の高い温度制御が求められます。
ウェーハ処理を行う方なら、その重要性はご存知でしょう。わずかな温度変動でも、全てが変わってしまいます。当社のランプは、ウェーハ製造工場が必要とする安定性を提供します。そして、コストも手頃なため、無理をせずに設備を拡張することができます。
電力、電圧、形状――チャンバーの仕様に合わせて設計されている
重要なのは、熱が正確に目的の場所に届くことです。そのため、ランプの形状はチャンバーの形状に合わせて設計されています。
300mmの管長により、対象領域全体に均一な熱が供給され、余計な熱が発生しません。
わざと400Vの入力電圧を採用しています。これにより、同じワット数でも電流が低く抑えられ、長距離の配線における電圧降下や、フィードスルー部でのI²R損失が少なくなります。
2500Wの出力なら、非常に高い熱密度が得られ、迅速に目標温度に到達します。
しかし、高い熱密度を実現するためには、十分な冷却機能と優れた熱管理が必要です。冷却機能が不十分だと、制御ループが過度に働き、温度が目標値を超えてしまう可能性があります。
材料と設計：ハロゲン、クォーツ、そしてR7sの利点
このランプの核心は、ハロゲンガスを充填したクォーツ管で、短波赤外線を放出します。
ハロゲン化学反応により、フィラメントが長期間安定し、何千回の使用後でも出力が一定に保たれます。
クォーツ製の本体は真空対応で、急激な温度変化にも耐えられます。
また、R7sコネクタは実用的で、しっかりと固定され、安全に電流を伝送します。そのため、標準的な照明器具にそのまま取り付けることができます。一度接続すれば、振動があっても接触が維持されます。
ウェーハ製造工場には制御性が不可欠。このランプがそれを実現する
ウェーハ処理において最も重要なのは、制御性です。
当社のランプは、迅速に目標温度に到達し、その温度を維持します。これにより、プロセス全体で0.1℃という高精度な温度制御が実現します。
真空対応であるため、低圧環境下でもガスの漏れや問題を心配する必要がありません。
その結果、再現性の高い処理が可能になり、調整の回数が減り、信頼性の高い稼働が実現します。
チャンバーのアップグレードを検討する際、このランプなら、厳しい条件でも規格を守りながら処理を行うことができます。