IRランプがクリーンルームを台無しにするのをやめましょう。
クラス100のクリーンルームを運用しているなら、本来あってはならない場所に微粒子が存在するという悪夢をご存知でしょう。わずかなゴミでも、製品全体が台無しになってしまいます。
問題は、一般的なIRランプはこのような状況に対応していないことです。安価な接着剤や金属製のカバーが使われており、温度が上がるとすぐに壊れてしまいます。その結果、微細なゴミが生産エリアに混入してしまいます。これはまさに災害の予兆です。
秘密は素材にあります。
私たちは金属製のカバーを完全に廃止しました。代わりに、高純度の合成石英と特殊なセラミック製のカバーを使用しています。
なぜでしょうか？セラミックは高温になっても剥がれたり酸化したりしません。ただしっかりと固定されているのです。また、接合には煙や有害物質を排出しないシーラントを使用しています。これにより、医療機器や半導体製造装置でよく使われる安価な発光体が壊れるのを防ぎます。
次に、熱の問題です。
高ワット数の電力を供給すると、石英が膨張したり収縮したりします。もしカバーが同じ速度で動かなければ、ひび割れが生じます。私たちはセラミックの熱膨張率をチューブのそれに完璧に合わせています。ひび割れも漏れもありません。
ただし、一点注意が必要です。
高純度の石英は非常に清潔ですが、通常使われているドープガラスよりも少し脆いです。もし装置が激しく振動したり、機械的な負荷がかかったりする場合は、強化された取り付けブラケットを使用しましょう。そうすれば、チューブが壊れて大変な事態になるのを防げます。
最良の点は、これらが直接交換可能な点です。
全体の配置を再設計する必要はありません。単に交換するだけです。そうすることで、塵を元から防ぐことができ、空気フィルターの負担も大幅に軽減されます。
私たちは、タングステンフィラメントからシール部分まで、すべての部品にこだわっています。そうすることで、ランプから出てくるのは熱だけです。塵もゴミもなく、純粋な赤外線だけが放出されます。