Hentikan pemborosan energi pada alat pengolah wafer
Ketika Anda memanaskan wafer silikon, setiap watt energi yang terbuang merupakan uang yang sia-sia. Masalahnya adalah: lampu inframerah biasa memancarkan energi ke segala arah. Namun, dalam alat pengolah wafer, yang penting hanyalah panas yang sampai ke permukaan wafer tersebut. Semua energi lainnya hanyalah “kebisingan” belaka. Kita mengatasi hal ini dengan menggunakan teknologi pelapis emas. Dengan cara ini, energi yang seharusnya hilang dapat dialihkan kembali ke wafer tersebut.
Mengapa emas?
Karena emas memiliki kemampuan reflektivitas inframerah yang sangat baik. Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium, tetapi bahan tersebut cenderung menyerap terlalu banyak panas ketika suhu meningkat. Emas tidak seperti itu; ia mampu memantulkan foton dengan kerugian yang hampir nol. Artinya, setiap watt energi yang digunakan benar-benar digunakan untuk meningkatkan suhu permukaan wafer.
Fokus yang tepat
Kita tidak hanya memantulkan cahaya secara acak; kita mengarahkannya ke titik tertentu. Bentuk pelapis emas dirancang sedemikian rupa sehingga panas dapat dikonsentrasikan di area tertentu saja. Dengan demikian, suhu wafer dapat dicapai lebih cepat. Selain itu, hal ini juga menciptakan gradien termal yang lebih baik. Jika Anda bekerja dengan permukaan berukuran 300 mm, inilah satu-satunya cara untuk memastikan proses pengolahan berjalan secara merata di seluruh permukaan wafer.
Kelemahan dan cara mengatasinya
Memfokuskan begitu banyak energi tentu memiliki konsekuensi. Karena kita memasok banyak panas ke wafer, bagian casing alat pun bisa rusak jika aliran udara tidak tepat. Anda perlu memastikan bahwa kipas pendingin dan sistem pendingin lainnya berfungsi dengan baik. Jika casing menjadi terlalu panas, bentuknya bisa berubah. Ketika bentuknya berubah, titik fokus pun berubah, sehingga muncul spot dingin di permukaan wafer. Hal ini tentu tidak ideal.
Berita baiknya? Sistem ini dirancang sebagai pengganti array IR standar. Cukup sambungkannya ke kontroler yang sudah ada. Anda akan melihat bahwa alat ini dapat mencapai suhu yang diinginkan lebih cepat, karena kita tidak perlu melawan hukum fisika lagi.