שמירה על ניקיון וופרי הייבוש
כאשר מייבשים וופרי של חיישני MEMS, החום הוא רק חצי מהבעיה. הבעיה האמיתית היא היווצרות של חלקיקים זעירים שעלולים לפגוע בוופרים. בחדר נקי מסוג Class 100, חלקיק זעיר של חומר איטום ישן או חלקיק של תחמוצת מתכת יכולים להרוס את כל הוופרים. זה מעצבן, וזה גם יקר.
לכן אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מקוורץ באיכות גבוהה.
הבעיה עם חימום “סטנדרטי”
לרוב הרכיבים החממיים יש הרגל רע – הם פולטים גזים או חלקיקים קטנים כשהם מתחממים ומתקררים. אנו לא עושים זאת. באמצעות קוורץ באיכות גבוהה, אנו מקבלים חומר שיכול לעמוד בשינויי טמפרטורה קיצוניים מבלי להישבר או להיפגע.
בנוסף, אנו מוציאים את החומרים האורגניים והציפויים הזולים. למה? כי חומרים אלו עלולים להתאדות ולהתקבץ על הוופרים. במקום זאת, אנו מקבלים מקור חום שעושה את עבודתו בלי להשאיר שום לכלוך.
הפסקת תנועת האבק
הבעיה עם חימום באמצעות אוויר היא שהאוויר עצמו מעביר אבק. אנו משתמשים באינפרא-אדום בגלים קצרים – זה מאפשר העברת אנרגיה ישירות לטיפות המים על הוופרים. זה מהיר מאוד. ומכיוון שאין צורך באוויר במהירות גבוהה, אין סיכוי שייווצרו חלקיקי אבק בחדר הנקי.
פרטים חשובים להתקנה
התקנת הנורות האלו בתחנת הייבוש אינה פשוטה כמו “חיבור ושימוש”. יש לוודא שההספק של הנורות מתאים. נורות הקוורץ בעלות הספק גבוה מאוד, ולכן יש צורך במקור אנרגיה חזק. כמו כן, יש לוודא שהקירור תקין. אם המארז של הנורות אינו מאוורר כראוי, החום הסביבתי עלול לגרום לנזק לחלקי הוופרים. זה קשה לתקן לאחר מכן, לכן יש לוודא שהאוורור תקין מההתחלה.
אנו מוודאים שהנורות יכולות להתאים בקלות לתאי הוואקום או למנהרות הייבוש. כך ניתן לקבל העברת חום ישירה, זמני ייבוש מהירים יותר, ותוצאות טובות יותר. רק דבר אחד חשוב: יש לוודא שהחוטים של הנורות מתאימים לעומס התרמי. אף אחד לא רוצה שהחוטים יישרפו.