Arrêtez de gaspiller de l’énergie inutilement dans les équipements de traitement des wafers en silicium. Chaque watt gaspillé, c’est de l’argent perdu. Le problème, c’est que les lampes infrarouges traditionnelles dispersent leur énergie partout. Or, dans un équipement de traitement des wafers, seule l’énergie qui atteint le substrat compte. Tout le reste n’est que bruit inutile. Nous résolvons ce problème grâce à une technologie de revêtement en or. Au lieu de laisser cette énergie s’échapper, nous la dirigeons directement vers le wafer.
Pourquoi l’or ? Parce que l’or est extrêmement efficace pour refléter les rayons infrarouges. La plupart des gens utilisent des réflecteurs en aluminium, mais ceux-ci absorbent trop de chaleur lorsque la température augmente. L’or, lui, réfléchit les photons avec presque aucun pertes. Cela signifie que chaque watt tiré de l’alimentation électrique est vraiment utilisé pour augmenter la température de surface du wafer.
Il s’agit de cibler précisément Nous ne nous contentons pas de réfléchir la lumière ; nous la dirigeons vers un point précis. La forme du revêtement en or permet de concentrer cette chaleur sur une zone très précise. C’est ainsi que l’on atteint plus rapidement les températures souhaitées. De plus, cela permet d’obtenir un gradient thermique beaucoup plus précis. Lorsque vous travaillez avec des wafers de 300 mm, c’est la seule façon de garantir que le traitement soit uniforme sur toute la surface du wafer.
Les inconvénients (et comment les surmonter) Concentrer autant d’énergie présente des avantages, mais aussi des inconvénients. Comme nous envoyons beaucoup de chaleur vers le wafer, le boîtier lui-même peut être endommagé si le flux d’air n’est pas suffisant. Il faut donc s’assurer que les ventilateurs de refroidissement et les dissipateurs thermiques fonctionnent correctement. Si le boîtier devient trop chaud, il peut se déformer. Une fois que la géométrie change, le point de focale se déplace, et des zones froides apparaissent sur le wafer. Ce n’est pas idéal.
La bonne nouvelle ? Ces systèmes sont conçus pour remplacer directement les systèmes infrarouges traditionnels. Il suffit de les connecter au contrôleur existant. Vous verrez que l’équipement atteint plus rapidement la température souhaitée, simplement parce que vous n’avez plus à lutter contre les lois de la physique.