Comment maintenir les wafer propres pendant le processus de séchage
Lors du séchage des wafer de capteurs MEMS, la chaleur n’est que moitié du problème. Le vrai problème, c’est l’émission de particules. Dans une salle propre de classe 100, un seul petit fragment d’isolant ancien ou une minuscule particule d’oxyde métallique peut ruiner toute une série de wafer. C’est frustrant et coûteux.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges en quartz de haute pureté.
Le problème avec la chaleur “standard”
La plupart des éléments chauffants ont tendance à émettre des gaz ou à perdre des morceaux d’eux-mêmes lorsqu’ils se réchauffent ou se refroidissent. Nous, nous ne faisons pas ça. En utilisant du quartz de haute pureté, nous obtenons un matériau qui résiste aux chocs thermiques sans se fissurer ni se ternir.
De plus, nous avons éliminé les liants organiques et les revêtements bon marché. Pourquoi ? Parce que ces éléments peuvent s’évaporer et se déposer sur les wafer. Au lieu de cela, vous avez une source de chaleur qui fait simplement son travail, sans laisser de désordre derrière elle.
Arrêtez de faire bouger la poussière
Le problème avec le chauffage par convection, c’est qu’il nécessite des courants d’air. Or, des courants d’air signifient aussi des particules en mouvement. Nous utilisons donc des ondes infrarouges à courte longueur d’onde. Elles transmettent l’énergie directement dans les gouttes d’eau présentes sur les wafer. C’est rapide. Vraiment rapide. Et comme vous n’utilisez pas d’air à haute vitesse, vous ne soulèvez pas de particules dans la salle propre.
Les détails importants pour l’installation
Installer ces lampes dans une station de séchage n’est pas si simple : il faut bien ajuster la puissance fournie. Ces tubes en quartz à haute puissance génèrent beaucoup de chaleur, ce qui exige des alimentations électriques robustes. Il est également important de vérifier correctement le système de refroidissement. Si la boîtier n’est pas bien ventilé, la chaleur ambiante peut endommager les brackets de fixation. C’est difficile à corriger une fois que c’est arrivé, alors assurez-vous que l’aération fonctionne correctement dès le début.
Nous veillons à ce que ces lampes puissent être facilement installées dans vos chambres à vide ou vos tunnels de séchage. Vous obtenez ainsi une transmission directe de la chaleur, des temps de séchage plus rapides, et des résultats de meilleure qualité. Un dernier conseil : assurez-vous que votre câblage puisse supporter la charge thermique. Personne n’aime avoir des terminaisons endommagées.