در فرآیند لیتوگرافی، وجود نقاط داغ با دمای ۰.۵ درجه سانتیگراد روی سطح ویفر، میتواند به طور مخفیانه باعث از بین رفتن حاشیههای لازم برای کنترل کیفیت سطح ویفر شود. روشهای گرمکردن نرم و سخت، ناهمواریهای دمایی را تحمل نمیکنند؛ هرگز اینطور نبوده و هرگز هم نخواهد بود. ما یک دستگاه اندازهگیری تنش سطحی ویفر طراحی کردهایم تا این ناهمواریها را از بین ببرد؛ این دستگاه، یکنواختی دما را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
این دستگاه، طراحی مناسبی برای استفاده در اتاقهای پاک دارد؛ همچنین، اتصال حرارتی آن به سطح ویفر بسیار خوب است. دما به صورت لحظهای کنترل میشود؛ بنابراین، مقدار دمای مورد نظر در طول کل فرآیند گرمکردن ثابت باقی میماند. تکرارپذیری عملکرد این دستگاه، به خاطر ساختار مکانیکی و سیستم کنترلی آن است؛ به همین دلیل، تفاوتهای بین محمولههای مختلف کاهش مییابد. شما میتوانید از حذف یکنواخت مواد حلکننده، جریان قابل پیشبینی رزست، و انرژی سطحی پایدار استفاده کنید؛ اینها دقیقاً همان چیزهایی هستند که فرآیند لیتوگرافی نیاز دارد.
چرا این دستگاه در فرآیند تولید مفید است؟
در محیطهای کلاس ۱–۱۰۰، این دستگاه بدون ایجاد ذرات اضافی، به خوبی کار میکند. عدم تولید ذرات، باعث حفظ بازدهی فرآیند و کاهش مقدار مواد بیکاربرد میشود. میدان حرارتی یکنواخت، امکان کوتاهتر کردن زمان گرمکردن را فراهم میکند، بدون اینکه عملکرد رزست تحت تأثیر قرار گیرد؛ بنابراین، سرعت تولید افزایش مییابد و مصرف انرژی برای هر ویفر کاهش مییابد. این دستگاه طوری طراحی شده است که بتواند ۲۴ ساعته کار کند؛ بنابراین، ناهمواریهای حرارتی و نقاط داغ، دیگر باعث توقف غیرمنتظره فرآیند نخواهند شد.
چه چیزهایی برای کار صحیح این دستگاه لازم است؟
نصب این دستگاه نیازمند هماهنگی دقیق با چارچوب ویفر و تأمین گاز تمیز و خشک برای محافظت از سطح دستگاه است. این دستگاه با رابطهای استاندارد کار میکند؛ اما اگر قصد تعمیر آن را دارید، باید تغییرات کوچکی در ساختار مکانیکی آن ایجاد کنید. عمر مفید این دستگاه، در صورتی خوب خواهد بود که سیستم تهویه و سرمایش، بار حرارتی دستگاه را تأمین کند؛ در غیر این صورت، عملکرد دستگاه مختل خواهد شد. اگر این دستگاه را به درستی تنظیم کنید، فرآیند لیتوگرافی به طور مداوم در حد استانداردها خواهد بود.