در طبقه لیتوگرافی، پخت فوتوریست جایی است که بودجه حرارتی شما به کنترل عرض خط تبدیل میشود. تغییر حتی یک درجهای در پخت نرم باعث تغییر در نحوه خارج شدن حلال میشود. و اگر پخت سخت در سرتاسر ویفر یکنواخت نباشد، نمیتوان انتظار یکنواختی دقیق CD را داشت. دقیقاً همینجا است که هیترهای ساخت کربن نانوتیوب کارایی خود را نشان میدهند.
نکات فنی مهم
ما این هیترها را حول مادون قرمز کوتاهموج با یک گسیلکننده کربن نانوتیوب ساختهایم. آنها به سرعت به نقطه تنظیم میرسند و دما را ثابت نگه میدارند. نتیجه، میدانی حرارتی در سطح ویفر است که در زیر یک میلیمتر یکنواختی دارد، با یکنواختی در سطح ویفر ±0.1°C در دمای معمول پخت فوتوریست.
تکرارپذیری کمتر از 0.05°C تغییر نقطه تنظیم به نقطه تنظیم طی 24 ساعت است، به طوری که هر دسته از محصول همان مشخصات حرارتی را دریافت میکند. سیستم تمیز باقی میماند، بدون تولید ذرات، و با محیطهای پاک از کلاس 1 تا کلاس 100 سازگار است.
دلیل عملکرد در تولید
در اجرای روزمره، این دقت به معنای کاهش دستههای دوبارهکاری شده و توزیعهای دقیقتر CD است. بازههای پخت نرم و سخت قابل پیشبینی میشوند که باعث کاهش مشکلات عرض تابش و نقصهای ناشی از حذف ناقص حلال میشود.
پاسخ حرارتی سریع چرخههای پخت را کوتاه کرده و مصرف انرژی را کاهش میدهد. و قابلیت اطمینان 24/7 کمک میکند زمانهای توقف غیرمنتظره از برنامه تولید حذف شود. عملکرد فوتوریست به طور مداوم در هر دسته تضمین میشود.
نکات قابل توجه
این هیترها در خطوط coat/bake موجود نصب میشوند اما جرم حرارتی پایینی دارند. به این معنی که لازم است پروفایل فر را برای تطابق با شیب دمای سریعتر مجدداً تنظیم کنید. فاصله اطراف گسیلکننده را طبق طراحی حفظ کنید—حفظ یکنواختی و جلوگیری از نقاط داغ موضعی الزامی است.
در تغییرات، هماهنگی کامل با فروشنده تجهیزات خود داشته باشید، سپس یک دسته کوتاه اعتبارسنجی اجرا کنید تا دستورالعمل پخت تثبیت شود.