در فرآیند تولید، تغییر دما در حدود ۰.۵ درجه سانتیگراد در مرحله پخت نرم، خود را نشان نمیدهد؛ اما به طور مخفیانه باعث کاهش کیفیت محصول میشود و در نهایت منجر به تبدیل کل محصولات تولید شده به ضایعات میگردد. در فرآیند لیتوگرافی، جایی برای حدس و گمان وجود ندارد؛ همچنین زمانی برای توقفهای غیرمنتظره وجود ندارد. تولید پایدار، یک فرآیند قابل اندازهگیری است؛ مثلاً میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر، تعداد ذرات در هر فوت مکعب، و میزان عملکرد مداوم در طول ۷ روز و ۲۴ ساعت.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟
ما سیستمهای حرارتی را به گونهای طراحی کردهایم که دما در سطح ویفر در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند؛ به این ترتیب، فرآیندهای پخت نرم و سخت به طور مداوم تکرار میشوند. استفاده از حرارت مادون قرمز کوتاهامواج، انرژی را به سرعت و به صورت بهینه منتقل میکند؛ همچنین از افزایش دما جلوگیری میشود. سازگاری با استانداردهای اتاقهای تمیز در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰، یک ویژگی ضروری در طراحی سیستمهاست؛ یعنی استفاده از محفظههای بسته، موادی با میزان گاز خروجی کم، و عدم تولید ذرات در حین فرآیند.
چرا این روش در محلهای مختلف موفقیتآمیز است؟
شما ویفرها را از طریق فرآیندهای فتورزیست و پخت عبور میدهید؛ پس پایداری دما، کنترل کیفیت محصول و بازدهی تولید را تضمین میکند. کنترل دقیق دما، زمان فرآیند را کوتاه میکند، ضایعات را کاهش میدهد و مصرف انرژی برای هر دسته از محصولات را کاهش میدهد. قابلیت اطمینان این سیستمها، باعث میشود که خط تولید بدون مشکل کار کند؛ یعنی بدون توقفهای ناگهانی و بدون نیاز به قطعات یدکی اضافی. در نتیجه، هزینه تولید هر ویفر کاهش مییابد، هزینههای عملیاتی ثابت میماند، و امکان گزارشگیری مربوط به معیارهای ESG نیز فراهم میشود، بدون اینکه سرعت تولید کاهش یابد.
چیزهایی که باید بدانید:
این سیستمها میتوانند در سیستمهای موجود برای لیتوگرافی استفاده شوند؛ اما پروفایل حرارتی باید با ویژگیهای سطح ویفر و شیمی فتورزیست هماهنگ باشد. لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا نرخهای تغییر دما و زمانهای لازم برای پخت مشخص شود. استفاده از انرژی نیز ساده است؛ اما برای جلوگیری از عدم پایداری در هنگام تغییرات سریع دما، نیاز به مدارهای ویژه وجود دارد.