چرا ما به استفاده از روش خشکسازی با تابش مادون قرمز برای ویفرها روی آوردهایم؟
در حال حاضر، تلاشهای زیادی برای استفاده از روش خشکسازی با تابش مادون قرمز صورت گرفته است. این کار منطقی است؛ زیرا ما سعی داریم از روشهای گرمایشی مبتنی بر حلالها و همچنین آثار منفی ناشی از استفاده از کربن، که در کارخانههای قدیمی وجود دارد، دوری کنیم. در اتاقهای پاک، صحبت درباره «روشهای سازگار با محیط زیست» یا «روشهای بدون سرب» فقط برای بروشورهای تبلیغاتی نیست؛ بلکه یک الزام واقعی است. فناوری مادون قرمز، با ارسال تابش الکترومغناطیسی مستقیماً به سطح ویفر، کار خشکسازی را انجام میدهد؛ بدون نیاز به واسطههایی.
راز گرمایش مستقیم
فکر کنید به یک فر معمولی؛ این فر، هوا را گرم میکند و سپس هوا، قطعه را گرم میکند. این روش کند و همچنین منجر به هدررفت انرژی میشود.
لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها تابشهای موج کوتاهی ساطع میکنند که مستقیماً به سطح ویفر نفوذ میکنند. ما این روش را «انتقال انرژی مستقیم» مینامیم. از آنجایی که نیازی به گرم کردن هر اینچ از فضای داخل فر نیست، گرمای لازم تقریباً بلافاصله دریافت میشود. این روش بسیار سریع است. و اینگونه است که میتوانیم به اهداف صرفهجویی در مصرف انرژی دست یابیم، بدون اینکه سرعت کار کاهش یابد.
تعادل بین فاصله و گرما
اینجاست که کار پیچیده میشود. اکثر مهندسانی که میشناسم، با مشکل فاصله مناسب بین لامپ و ویفر دست و پنجه نرم میکنند.
اگر لامپ را خیلی نزدیک نصب کنیم، نقاط داغی ایجاد خواهد شد و لبههای ویفر نیز آسیب خواهد دید. اما اگر لامپ را خیلی دور نصب کنیم، سرعت کار کاهش خواهد یافت، زیرا شدت تابش کاهش مییابد.
این کار مانند راه رفتن روی یک طناب باریک است؛ باید تعادل مناسبی بین تراکم انرژی لامپ و جرم حرارتی ویفر برقرار کرد. لامپهایی با شدت بالا برای افزایش سرعت عالی هستند، اما فشار زیادی بر سیستم خنککننده وارد میکنند. اگر سیستم خنککننده نتواند گرمای تولید شده را کنترل کند، لامپها زودتر از حد معمول خراب خواهند شد.
روشی تمیزتر برای کار
بهترین نکته این است که روش خشکسازی با تابش مادون قرمز، یک روش خشک است. شما میتوانید از کاتالیزورهای شیمیایی و آن استابیلیزاتورهای قدیمی سربی استفاده نکنید. هیچ گونه ماده مضری در هوا وجود ندارد، و نیازی به تمیز کردن محیط نیست. کافی است لامپ را وصل کنید، تایمرها را تنظیم کنید؛ همه چیز در کنترل خواهد بود. این روش، جایگزینی ساده و تمیز برای سیستمهای حرارتی قدیمی است.