Auf der 300-mm-Linie arbeiten wir bereits mit begrenzten thermischen Möglichkeiten. Schon eine Abweichung von 0,5 Grad während des Weichbrennvorgangs reicht aus, um das Profil des Photoresists zu verändern. Uneinheiten beim Hartbrennvorgang zeigen sich genau dort, wo man sie am wenigsten haben möchte – nämlich an den Rändern des Films. Solche Abweichungen verlangsamen nicht nur den Prozess, sondern führen auch dazu, dass Material verschwendet wird. Wir kombinieren diese Ersatzlampen von ASML miteinander, um diese Uneinheiten aus dem Prozess zu entfernen.
Was technisch wichtig ist: Wir passen das thermische Verhalten der ASML-Plattform an die Ausgangssignale für Kurz- und Mittelwellen an, die für den Brennvorgang des Photoresists benötigt werden. Auf der gesamten Oberfläche der Wafer bleibt die Homogenität bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,2°C von Cycle zu Cycle. Diese Lampen funktionieren in Reinräumen der Klasse 1–100, ohne Partikel freizusetzen – das wird vor Ort überprüft. Sie sind dafür konzipiert, 24/7 zu arbeiten – bis zu 5.000 Stunden lang – wobei die Leistung stets innerhalb von 5% bleibt. Da die Spannungen und Anschlüsse mit den Schnittstellen der ASML-Geräte übereinstimmen, kann die Lampe ohne weitere Anpassungen eingesetzt werden.
Warum das auf der Produktionsstelle funktioniert: Der Prozess bleibt weiterhin effizient. Mit dieser Ersatzlampe bleiben die Temperaturen beim Weich- und Hartbrennvorgang konstant, sodass die Kontrolle der kritischen Dimensionen verbessert wird und die Entfernung der Überreste am Rand des Films vorhersehbar wird. Bessere thermische Wiederholgenauigkeit bedeutet weniger Nacharbeiten, weniger Verschwendung von Material sowie eine schnellere Rückkehr zum stabilen Zustand nach dem Austausch der Lampe. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, da die Lampe schnell die gewünschte Temperatur erreicht und diese auch beibehält – ohne dass dabei zusätzliche Energie verbraucht wird.
Einige praktische Hinweise: Die Einrichtung ist einfach, doch die Lampe muss sauber gehalten werden und darf nicht mit elektrostatischem Strom in Berührung kommen. Ein Fingerabdruck auf der Quarzkapsel kann zu Hotspots führen. Überprüfen Sie vor dem Einsatz die Firmware Ihres Geräts – einige ältere Controller benötigen eine Kalibrierung, um mit der neuen Lampe zu funktionieren. Sobald alles eingestellt ist, führen Sie eine kurze Qualifikationsprobe durch, um die Dosis und Temperatur zu überprüfen. Danach können Sie diese Ersatzlampe in Ihren Wartungsplan aufnehmen.