Auf der Herstellungsfläche führt eine Temperaturänderung von 0,1 °C dazu, dass sich das Profil des Fotoleitmittels um Nanometer verändert – und diese Veränderung zeigt sich anschließend in den Ergebnissen der Produktion. In der Lithografie ist die thermische Kontrolle keine Option, sondern eine notwendige Voraussetzung. Unsere Quarzlampen mit Wolframfaden sind so konzipiert, dass sie diese Anforderungen erfüllen – sie gewährleisten eine zuverlässige Wärmeverteilung, wo genaue Reproduzierbarkeit erforderlich ist.
Die kurzwellige Infrarotenergie stammt von einem Wolframfaden innerhalb hochreinen Quarzes. Dadurch wird eine schnelle, gleichmäßige Erwärmung erreicht, wobei eine präzise Steuerung des Spektrums möglich ist. In der heißen Zone bleibt die Homogenität auf dem Wafer bei ±0,1 °C – der Temperaturregler reagiert dabei innerhalb von Sekundenbruchteilen. Die Lampen sind für den Betrieb in Reinräumen der Klasse 1–100 geeignet; die verwendeten Materialien sorgen dafür, dass es zu keiner Partikelbildung kommt und keine Kontamination entsteht. Diese Lampen können 24/7 betrieben werden – wir haben bereits Beispiele für Lampen, die über 5.000 Stunden lang ohne einen Leistungsverlust von mehr als 5 % funktionierten.
Es ist wichtig, dass die Temperatur genau kontrolliert wird – insbesondere an der Trocknungsstelle. Bei zu niedriger Temperatur bleibt das Lösungsmittel im Fotoleitmittel zurück; bei zu hoher Temperatur verändert sich das Profil des Fotoleitmittels. Unsere Lampen halten die Temperatur konstant, sodass die kritischen Abmessungen sowie die Winkel der Seitenwände von Zyklus zu Zyklus konstant bleiben.
Der Vorteil liegt darin, dass eine gleichmäßige Beschichtung erreicht wird, weniger Ausschuss entsteht und weniger Nachbearbeitung nötig ist. Zudem wird Energie eingespart, da die Wärmeübertragung effizient erfolgt. Die längere Lebensdauer der Lampen verkürzt außerdem die Zeit zwischen den Austauschintervallen – was wiederum die geplante Stillstandszeit verringert.
Die Installation ist einfach, doch man muss trotzdem sorgfältig vorgehen. Die Lampe muss zur Geometrie des Reflektors sowie zu den Einstellungen des Thermoreglers passen, um Hotspots zu vermeiden. Überprüfen Sie außerdem die Spannung sowie die Kompatibilität der Anschlüsse mit dem Ofen oder dem Beschichtungsgerät des Herstellers. Stellen Sie sicher, dass der Abluftweg sauber und trocken ist.
Behandeln Sie den Quarzkörper wie eine Prozesskammer: Tragen Sie Handschuhe, halten Sie ihn frei von Fingerabdrücken und überprüfen Sie das Trocknungsprofil mit einem kalibrierten Wafer, bevor Sie die Charge freigeben.