Pecová lampa z karbidu křemíku (SiC)
V prostředí výroby není pečení fotorezisty jen doporučením – je to povinnost. Jakákoli změna teploty o 2 °C během procesu může vést k odchylkám v...
Vytápěcí prvek pece LPCVD
V provozním prostoru neexistuje pro pec typu LPCVD druhá šance na kompenzaci termických odchylek. Jedna taková odchylka znamená, že budete mít film o...