V provozu s hloubkou 300 mm nelze tolerovat žádné odchylky během procesu měkkého zahřívání fotorezistu ani nárůst počtu částic během sušení polovodičových destiček. Když je termální rozpočet omezený, tepelný prvek není jen hardware – jedná se o součást samotného procesu. Naše online infračervená topná zařízení jsou navržena právě pro takové situace – nahrazují odhady přesnou kontrolou teploty přímo v zařízení.
Co je z technického hlediska důležité
Využíváme krátkovlnné infračervené záření pro rychlou a přímou přenos energie s odezvou v řádu subsekund. To umožňuje dosažení rovnoměrnosti teploty na úrovni celé destičky v rozsahu ±0,1 °C v oblasti zahřívání – což je přesně to, co potřebujeme pro procesy měkkého a tvrdého zahřívání. Emitory fungují bez problémů: nevytvářejí žádné částice a vhodné jsou pro prostředí od třídy 1 do třídy 100. Výstupní teplota zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, takže se zachovává opakovatelnost a kvalita destiček se nezmění s věkem lampy.
Proč to funguje tam, kde je to důležité
V litografických zařízeních modulem lze udržet konstantní teplotu během procesu měkkého zahřívání, takže odpařování rozpouštědel probíhá podle specifikací výrobce fotorezistu, a ne pod vlivem změn okolní teploty. Při sušení dokončí modulem termální proces bez vzniku „vodních stop“, což snižuje potřebu oprav a odpadu. Spotřeba energie klesá, protože emitory zahřívají pouze cílovou oblast, nikoli celou komoru.
A když potřebujete udržet provoz v chodu, jsou k dispozici náhradní moduly. Náhradní moduly lze jednoduše instalovat do stávajících zařízení pomocí definovaných konektorů a kalibračních souborů – takže můžete obnovit termální výkon bez nutnosti přepínání celého procesu.
To je to, na co byste se měli zaměřit
Infračervené topení funguje na principu viditelné linie, proto je důležitá geometrie a emisivita. Správně umístěte emitory a zajistěte správný úhel pohledu na vaši destičku. Poté proveďte test akceptace zařízení, abyste určili skutečnou teplotu destičky. Očekávejte krátké období zahřívání, poté se teplota ustálí. Kontrola teploty je klíčem k stabilnímu procesu a k vyhnutí se nákladným opravám.