Na lince s rozsahem 300 mm už intenzivně využíváme termální možnosti tohoto zařízení. Poloviční odchylka teploty během procesu zahřevu je dostatečná...

V provozu s hloubkou 300 mm nelze tolerovat žádné odchylky během procesu měkkého zahřívání fotorezistu ani nárůst počtu částic během sušení...