V prostředí výroby znamená odchylka teploty během procesu pečení o 0,1 °C posun profilu fotorezistentu o několik nanometrů – a tento posun se projeví v výsledcích výroby. V litografii není termální rozsah volitelný; jedná se o základní podmínku. Naše kvartové lampy s wolframovými vlákny jsou navrženy tak, aby dodržovaly tyto podmínky, a zajistily tak přesné ohřívání tam, kde je to nezbytné.
Krátkovlnné infračervené záření pochází z wolframového vlákna uvnitř vysoce čistého kvartzu, což umožňuje rychlé ohřívání s přesnou kontrolou spektra. V horké zóně zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, přičemž nastavená teplota reaguje během několika sekund. Konstrukce lamp je navržena pro provoz v čistých prostorách třídy 1–100, přičemž jsou použity materiály, které minimalizují vznik částic a zabránějí kontaminaci. Tyto lampy fungují 24/7 – dosud jsme je viděli pracovat více než 5 000 hodin bez poklesu výkonu o více než 5 %.
Je důležité, aby vše probíhalo správně právě v této fázi – v stanici pečení. Mírné a intenzivní pečení ovlivňují profil rozpouštědel v fotorezistentu a jeho přilnavost. Pokud je teplota příliš nízká, film zadržuje rozpouštědla. Pokud je teplota příliš vysoká, profil se stlačí. Naše lampy udržují teplotu stabilní, takže kritické parametry zůstávají v požadovaných mezích v každém cyklu.
Výsledkem je lepší kvalita výrobku, méně odpadu a méně oprav. Také se šetří energie, protože přenos tepla probíhá efektivně. Delší životnost lamp znamená delší intervaly mezi jejich výměnami, což snižuje plánované doby výpadku.
Instalace je jednoduchá, ale je potřeba postupovat opatrně. Lampu je nutné přizpůsobit geometrii reflektoru a nastavit hodnoty PID regulátoru teploty, aby se zabránily „horkým místům“. Je také potřeba zkontrolovat napětí a kompatibilitu konektorů s pecí nebo nástrojem na nanášení vrstev. Ujistěte se také, že cesta odvodu vzduchu je čistá a suchá.
S kvartzem je potřeba zacházet jako s procesní komorou. Používejte rukavice, udržujte ho bez otisků prstů a ověřte profil pečení pomocí kalibrovaného destičky před uvolněním výrobku.