الحفاظ على نظافة رقاقات MEMS أثناء عملية التجفيف
عند تجفيف رقاقات أجهزة الاستشعار من نوع MEMS، فإن الحرارة وحدها لا تكفي. المشكلة الحقيقية تكمن في تكتلات الغبار التي قد تتسبب في تدمير الرقاقات بأكملها. في غرف التصنيع ذات المستوى النظيف 100، يكفي وجود جزء صغير من مواد العزل القديمة أو ذرة من أكسيد المعدن لتدمير كل دفعة من الرقاقات. هذا أمر مزعج ومكلف للغاية.
لذلك، نستخدم مصابيح الأشعة تحت الحمراء المصنوعة من الكوارتز عالي النقاء.
مشكلة الحرارة “العادية”
معظم عناصر التسخين لديها عادة سيئة، وهي إطلاق غازات أو تكتلات من مكوناتها أثناء التسخين والتبريد. نحن لا نفعل ذلك. باستخدام الكوارتز عالي النقاء، نحصل على مادة قادرة على تحمل الصدمات الحرارية الشديدة دون أن تتشقق أو تتأثر.
كما أننا قمنا بإزالة المواد العضوية والطلاءات الرخيصة من هذه المصابيح. لماذا؟ لأن هذه المواد قد تتطاير وتتراكم على الرقاقات. بدلاً من ذلك، نحصل على مصدر حراري فعال لا يترك أي أثر خلفه.
تجنب تحريك الغبار
المشكلة في التسخين بالتيار الهوائي هي أنه يعتمد على حركة الهواء، وحركة الهواء تعني حركة الغبار أيضًا. نحن نستخدم الأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة بدلاً من ذلك. هذه الأشعة تنقل الطاقة مباشرة إلى قطرات الماء الموجودة على الرقاقات. إنها سريعة جدًا. وبما أننا لا نستخدم هواءً سريع الحركة، فإن ذلك يعني عدم تكون أي غبار في غرفة التصنيع.
تفاصيل التركيب
تركيب هذه المصابيح في محطات التجفيف ليس بالأمر السهل. يجب ضبط الطاقة المستخدمة بشكل صحيح. هذه المصابيح عالية القدرة، لذا فإن مصادر الطاقة ستتأثر بها. كما يجب التأكد من أن نظام التبريد يعمل بشكل صحيح. إذا لم يكن هناك تهوية كافية، فإن الحرارة الناتجة قد تتسبب في تشوه الأجزاء المستخدمة في تثبيت الرقاقات. من الصعب إصلاح ذلك بعد حدوثه، لذا يجب ضبط تدفق الهواء من البداية.
نحن نحرص على أن تكون أبعاد المصابيح مناسبة، حتى تتناسب بسهولة مع أجهزة التجفيف. بهذه الطريقة، نحصل على نقل حراري مباشر، وأوقات تجفيف أسرع، بالإضافة إلى نتائج أفضل. تذكّر: يجب التأكد من أن الأسلاك المستخدمة قادرة على تحمل الحرارة العالية. لا أحد يريد أن تتلف الأسلاك بسبب الحرارة العالية.