في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، يمكن لنقطة ساخنة بدرجة 0.5 درجة مئوية على سطح الرقاقة أن تؤثر سلبًا على دقة التحكم في درجة الحرارة. لا يمكن لعمليات التسخين الخفيفة أو الشديدة أن تتغلب على عدم توزيع الحرارة بشكل متساوٍ، ولن يحدث ذلك أبدًا. لذلك، قمنا بتصميم جهاز لقياس التوتر السطحي للرقاقة، حتى نتمكن من التغلب على هذه المشكلة، ويضمن هذا الجهاز توزيعًا متساويًا لدرجة الحرارة على سطح الرقاقة، بدرجة خطأ لا تتجاوز ±0.1 درجة مئوية.
ما الذي يهم حقًا؟ إنه جهاز تسخين مناسب للاستخدام في الغرف النظيفة، ويتمتع بتصميم يقلل من كمية الجسيمات المتولدة، كما أنه متصل حراريًا بشكل وثيق بسطح الرقاقة. يتم التحكم في درجة الحرارة في الوقت الفعلي، بحيث تظل درجة الحرارة ثابتة طوال فترة التسخين. كما أن الدقة في العملية مضمونة بفضل التصميم الميكانيكي ودورة التحكم، ولذلك يقل الفرق بين الدفعات المختلفة. يتم الحصول على إزالة موحدة للمذيبات، وتدفق مستقر لمادة الفوتوريزست، بالإضافة إلى طاقة سطحية مستقرة، وهو بالضبط ما يحتاجه العملية.
لماذا يعمل بشكل جيد في الإنتاج؟ في البيئات من الفئة 1 إلى 100، يمكن دمج هذا الجهاز دون أن يؤثر على كمية الجسيمات الموجودة في الهواء. عدم توليد أي جسيمات يحافظ على جودة المنتج ويقلل من كمية النفايات. كما أن الحقل الحراري المتساوي يسمح بتقليل وقت التسخين دون التأثير على أداء مادة الفوتوريزست، مما يزيد من معدل الإنتاج ويقلل من استهلاك الطاقة لكل رقاقة. يمكن لهذا الجهاز أن يعمل على مدار 24 ساعة في اليوم، مما يقلل من حدوث أي تأخيرات غير مخطط لها في العملية.
ما الذي يجب القيام به بشكل صحيح؟ يتطلب التركيب تحقيق توازن دقيق مع سطح الرقاقة، بالإضافة إلى توفير غاز نظيف وجاف لحماية سطح الجهاز. يعمل الجهاز مع الواجهات القياسية، لكن في حالة التركيب اللاحق، قد يكون هناك حاجة إلى بعض التعديلات الميكانيكية. يظل أداء الجهاز جيدًا عندما يتم التحكم في تدفق الهواء الخارج من غرفة التسخين وعملية التبريد، وإلا فقد يتأثر نطاق التحكم. إذا تم تحديد المواصفات بشكل صحيح، فإن العملية ستظل تعمل بشكل جيد، يومًا بعد يوم.