http://cozy-heat-ir.com/zh/tags/%E7%BA%B3%E7%B1%B3%E7%AE%A1/ Recent content in 纳米管 on Cozy Infrared Home Heating Hugo zh Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/zh/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:18:07 +0800 http://cozy-heat-ir.com/zh/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://cozy-heat-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="碳纳米管制造加热器"></p> <h1 id="在光刻车间光刻胶烘烤是热预算转化为线宽控制的关键环节软烘温度漂移即使只有一度也会影响溶剂的挥发效果若硬烘过程中晶圆上的温度不均匀则无法保证紧密的关键尺寸cd均匀性这正是碳纳米管制造加热器发挥作用的地方">在光刻车间，光刻胶烘烤是热预算转化为线宽控制的关键环节。软烘温度漂移即使只有一度，也会影响溶剂的挥发效果。若硬烘过程中晶圆上的温度不均匀，则无法保证紧密的关键尺寸（CD）均匀性。这正是碳纳米管制造加热器发挥作用的地方。</h1> <h2 id="技术关键点">技术关键点</h2> <p>我们基于短波红外线设计了碳纳米管发射器加热器。其加热速度快且温度保持稳定。结果是在晶圆平面上形成亚毫米级均匀的热场，<a href="https://goldisgood.com">典型光刻胶</a>烘烤温度下晶圆级温度均匀性达到±0.1°C。</p> <p>重复性表现为24小时内设定点间漂移低于0.05°C，确保每批次都获得相同的热曲线。系统洁净，不产生颗粒，适用于Class 1至Class 100的洁净室环境。</p>