晶圆加工设备用温度传感器

Wed, 15 Jul 2026 10:09:58 +0800

别再把电能浪费在无效的加热上

在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量浪费都意味着金钱的流失。问题在于：普通的红外线灯会将能量散射到各个方向，而在晶圆处理设备中，我们只关心那些能够作用于晶圆表面的热量。其余的能量都是无用的。为了解决这个问题，我们采用了镀金技术——这样，能量就不会漏出设备外壳，而是直接作用于晶圆上。

为什么选择黄金？
因为黄金在反射红外线方面具有出色的性能。大多数人使用铝制反射器，但这种材料在高温下会吸收大量热量。而黄金则不会如此，它几乎可以毫无损耗地将光子反射回去。这意味着，从电源获取的每一瓦特能量都能真正发挥作用，提升晶圆的表面温度。